[实用新型]测量显微镜检测辅助装置

说明书

本实用新型公开了一种测量显微镜检测辅助装置，涉及测量显微镜技术领域，解决通过测量显微镜对样品直接检测时，无法对样品进行翻转，限制了测量显微镜检测范围的问题，采用的技术方案是：测量显微镜检测辅助装置，包括样品固定夹、二维线性移动平台、转动平台、摆动平台和支撑架，样品固定夹安装于二维线性移动平台上，二维线性移动平台固定于转动平台上，样品固定夹的旋转轴、转动平台的旋转轴均垂直于二维线性移动平台的平移面；转动平台安装于摆动平台上，摆动平台固定于支撑架上。通过二维线性移动平台、转动平台、摆动平台的配合，可从各个方向对样品空间进行测量，消除了测量显微镜仅能对平面内尺寸进行检测的限制，拓展了应用范围。

技术领域

本实用新型涉及测量显微镜技术领域，尤其是一种基于测量显微镜进行空间几何参数检测的辅助装置。

背景技术

测量显微镜结合了光学显微成像与三维空间定位技术，兼备操作简单、工作稳定、测量精度高等优点，在工业生产、科学研究、计量检测等领域应用广泛。测量显微镜可对视场图像中的两点距离、线段长度、平行线距离、点线距离、角度、圆形直径、面积等平面几何参数进行测量，配备Z向自动聚焦功能后，还可实现对待测样品高度方向的尺寸进行检测。然而，通过测量显微镜对待测样品尺寸检测时，待测样品只能在垂直于物镜光轴的二维平面内平移或转动，不能翻转。这样，对于不在同一平面内的特征尺寸，如圆柱型工件沿径向分布的孔的角度关系、沿轴向分布的异面孔的距离等，应用测量显微镜就无法进行检测。

实用新型内容

本实用新型提供一种测量显微镜检测辅助装置，解决通过测量显微镜对直接样品检测时，无法对样品进行翻转，限制了测量显微镜检测范围的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：测量显微镜检测辅助装置，包括样品固定夹、二维线性移动平台、转动平台、摆动平台和支撑架，所述样品固定夹安装于二维线性移动平台上，二维线性移动平台固定于转动平台上，样品固定夹的旋转轴、转动平台的旋转轴均垂直于二维线性移动平台的平移面；转动平台安装于摆动平台上，摆动平台可带动转动平台摆动，摆动平台固定于支撑架上。

进一步的是：所述支撑架由两块平板件组成，两块平板件相互垂直，摆动平台固定安装于任意一块平板件的直角内侧。

进一步的是：所述转动平台在摆动平台上的摆动方向所在平面与转动平台的旋转平面相互垂直。

进一步的是：所述二维线性移动平台、转动平台、摆动平台为手动或电动位移平台。

上述任意一种测量显微镜检测辅助装置使用方法及原理如下：首先，将测量显微镜检测辅助装置竖直放置于测量显微镜载物台上，使样品固定夹的旋转轴和转动平台旋转轴垂直于水平面。其次，将样品夹持固定于样品固定夹，调整辅助装置的位置，使样品完全位于测量显微镜的视场中，再旋转转动平台，观察并测量样品在旋转过程中的位置变化，相应通过二维线性移动平台调整样品固定夹的位置，直至样品的旋转轴在转动平台旋转过程中不再改变，即样品与转动平台共轴为止。再次，将辅助装置水平放置，微调摆动平台，使样品的旋转轴、转动平台的旋转轴均与水平面平行，并保持辅助装置在测量显微镜载物台上的相对位置不动。

最后，通过测量显微镜位移台，调节样品进入测量显微镜视场范围，旋转转动平台，使样品的特征结构(如孔、槽等)正对测量显微镜物镜，记录转动平台角度位置，通过测量显微镜对该角度方向上的特征结构尺寸、位置等进行测量并记录；旋转转动平台，使样品另一个角度方向上的特征结构正对测量显微镜，记录转动平台角度位置，使用测量显微镜对该角度方向上的特征结构尺寸、位置等进行测量并记录；重复上述步骤，直至样品所有角度方向上的特征结构尺寸、位置测量记录完毕，通过简单的数学运算，即可得到样品不同角度方向上的特征结构的相对角度、位置等空间几何参数。