[实用新型]一种三向加热热处理炉的高效退火支架

说明书

本实用新型公开了一种三向加热热处理炉的高效退火支架，其包括固定装置和隔热附件；固定装置包括：长条主干、短棒、焊接连接点和固定装置底座；隔热附件包括：外部保护板、通风孔和隔热填充物；本实用新型提供具有阻挡下底板辐射的影响，也不影响循环风的走向，达到对温度敏感度高的高纯金属靶材对热处理温度均匀性更高的使用要求，实现退火靶坯组织均匀且细小的目的。同时该退火支架能够同时退火N个靶坯，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型属于金属材料加工和微电子材料制造技术领域，特别涉及一种三向加热热处理炉的高效退火支架。

背景技术

随着半导体行业的不断发展，对靶材尤其是大尺寸靶材的需求量快速增大，该类靶材特点为：零件呈圆盘形，外径大，厚度小。在靶材生产过程中，热处理是尤为关键的一环。热处理设备的工艺性能优劣，温度控制等性能实现的精准度，对靶材的内部组织、使用性能和表面品质都有至关重要的影响。当前工业上广泛使用了左右下三向加热、上部安装循环风扇的热处理炉，其结构示意图见图1。它能有效提高升温速率、且温度均匀性良好，实现稳定控温的同时提高生产效率。靶材生产中通过将坯料置于在热处理均温区放置的退火支架上来进行退火。处于均温区的退火支架位于左右加热炉壁的中间位置，因而左右方向温度均匀适中。但却因为距离下底板较近且下加热上不加热的热处理炉结构设计会出现由于下底板辐射造成靶材组织不均的现象，造成靶材批量报废。此现象在对温度敏感性高的Al和Al合金、Cu和Cu合金以及Ag靶材中更为显著。

因此针对高纯靶材，特别是对温度敏感性高的Al和Al合金、Cu和Cu合金以及Ag靶材加工中对温度均匀性的更高的特殊要求，现有技术中急需急需要设计一种针对此种三向加热热处理炉的特殊的退火支架配合使用，减少下加热的辐射影响，提高温度均匀性。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种三向加热热处理炉的高效退火支架。

为了实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种三向加热热处理炉的高效退火支架，其包括固定装置和隔热附件；

所述固定装置包括：长条主干、短棒、焊接连接点和固定装置底座；固定装置底座平行于水平面设置，沿其长度方向上的两条边分别设置有所述长条主干；所述长条主干具有3根，2根所述长条主干相互平行的水平布置，其之间垂直设置有多根短棒；1根所述长条主干设置在所述固定装置底座的上方，且3根长条主干之间相互平行，3根所述长主干的端部由短棒相互连接形成三角形的稳定结构；上方的1根所述长条主干与下方的其中1根所述长条主干之间通过多跟短棒连接；

所述隔热附件包括：外部保护板、通风孔和隔热填充物；所述外部保护板设置在所述固定装置底座的下方，两者之间填充有所述隔热填充物；在所述隔热填充物平行于短棒的方向上设置有若干细小均匀的通风孔。

优选地，2根所述长条主干之间的所述短棒的数量为N+1根，且设置在水平位置的所述短棒跟与水平位置呈一定夹角的所述短棒成对设置，相邻两对所述短棒之间形成放置靶材坯料的基本单元，每个基本单元可退火1个靶材坯料，共可用于退火N个靶材坯料。

优选地，所述外部保护部分是由厚度为1-3cm的不锈钢板焊接而成。

优选地，所述内部填充物为隔热石棉。

优选地，所述固定装置下部和所述外部保护板均呈长方形，且两者的长度和宽度相等，两者通过焊接点进行连接。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的一种三向加热热处理炉的退火架，能够阻挡下底板辐射的影响，也不影响循环风的走向，达到靶材对热处理温度均匀性更高的使用要求。实现退火靶坯组织均匀且细小的目的。且该退火支架能够同时退火N个靶坯，进一步提高了生产效率。

附图说明