[实用新型]一种深紫外探测器的测试装置

权利要求书

1.一种深紫外探测器的测试装置,包括具有开口端的测试腔(1)，所述开口端设置有可开合的端盖(2)，其特征在于，所述测试腔(1)底部依次间隔设置有深紫外光源(11)和测试台(5)，所述深紫外光源(11)电连接有外部控制箱(4)，所述测试台(5)上设置有深紫外探测器(6)，所述深紫外光源(11)和所述测试台(5)之间依次间隔设置有第一凸透镜(10)、第二凸透镜(8)和第三凸透镜(7)，所述深紫外光源(11)发出的光线依次经过所述第一凸透镜(10)、所述第二凸透镜(8)、所述第三凸透镜(7)照射至所述深紫外探测器(6)的探测端面上；

所述测试腔(1)内还设置有热成像仪(3)和可见光探测器(9)，所述热成像仪(3)和所述可见光探测器(9)分别电连接所述外部控制箱(4)。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述深紫外光源(11)的中心、所述第一凸透镜(10)的中心、所述第二凸透镜(8)的中心、所述第三凸透镜(7)的中心和所述深紫外探测器(6)之探测端面的中心均处于同一直线上。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述第一凸透镜(10)、所述第二凸透镜(8)和所述第三凸透镜(7)的成像位置均可调整。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述可见光探测器(9)设置与所述第一凸透镜(10)和所述第二凸透镜(8)之间。

5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述热成像仪(3)固接于所述端盖(2)朝向所述测试腔(1)的端面上。

6.根据权利要求5所述的测试装置，其特征在于，所述热成像仪(3)设置于所述第一凸透镜(10)和所述第二凸透镜(8)之间。

7.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述外部控制箱(4)包括有控制器，所述控制器分别电连接所述深紫外探测器(6)、所述热成像仪(3)、所述可见光探测器(9)和深紫外光源(11)，所述控制器还电连接有显示屏。

8.根据权利要求7所述的测试装置，其特征在于，所述端盖(2)与所述测试腔(1)的连接处设置有密封装置。

9.根据权利要求8所述的测试装置，其特征在于，所述密封装置为密封圈，所述密封圈固接与所述测试腔(1)的开口端。