[实用新型]一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器

权利要求书

1.一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：包括硅衬底、一个四面带若干梳齿电极的固定支柱、四个一面带若干梳齿电极的质量块、四个悬臂梁、四个锚点，固定支柱与锚点设于硅衬底上，四个悬臂梁一端分别连接在四个锚点上，另一端分别连接在四个质量块上使其悬空；四个质量块分别等距离的置于中心固定支柱的前后左右四个方向，质量块的梳齿与固定支柱的梳齿交错放置并留有等距离的活动间隙。

2.根据权利要求1所述的一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：所述固定支柱设于硅衬底的中心位置，与四个质量块构成完全对称的方型结构。

3.根据权利要求1或2所述的一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：所述固定支柱上的梳齿与质量块上的梳齿不等高，梳齿交错面积均为二分之一。

4.根据权利要求3所述的梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：所述固定支柱为长方体或正方体型，其前后左右四面都附着有若干等面积、等间隔的梳齿式电极板，梳齿方向垂直于硅衬底所在的水平面，其中X轴向的梳齿附着在该支柱的下半部分，Y轴向的梳齿附着在该支柱的上半部分，梳齿之间留有等距离的间隙。

5.根据权利要求1所述的梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：所述质量块为敏感质量块；所述质量块为长方体或正方体型，质量块梳齿电极面积相等，梳齿的高度与质量块的高度相同，梳齿之间留有等距离的间隙。

6.根据权利要求1或5所述的一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：所述质量块由悬臂梁悬空且到水平面的距离相等，与固定支柱不在同一水平面上。

7.根据权利要求1所述的一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：所述悬臂梁为L型弹性悬臂梁，且四个悬臂梁呈逆时针环形结构。

8.根据权利要求1所述的一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：所述硅衬底呈正方形。

9.根据权利要求1所述的一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：所述四个锚点位于硅衬底的四个顶角位置。

10.根据权利要求1所述的一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：所述在质量块上设有若干阻尼孔。