[实用新型]一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达

权利要求书

1.一种基于MEMS振镜的准直系统，其特征在于，包括：

激光发射单元，用于发射调制激光光束；

前置光束整形单元，用于对激光发射单元发射的激光进行整形；

MEMS振镜扫描单元，用于利用MEMS振镜对所述前置光束整形单元整形后的光束进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；

后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述后置准直单元包括：复曲面镜；

所述复曲面镜用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在复曲面镜的入瞳处光程相等。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，激光发射单元包括：半导体激光器和半导体激光器驱动单元；所述半导体激光器驱动单元用于对所述半导体激光器所发出的光束进行调制。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述前置光束整形单元包括：整形透镜；所述整形透镜用于对所述激光发射单元发出的光束进行整形。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述整形透镜由至少一片非球面或自由曲面的透镜或者多片普通透镜组成。

6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述前置光束整形单元还包括：封装在激光发射单元光束出射口处的微透镜；所述微透镜用于对所述激光发射单元发出的光束进行初步整形。

7.根据权利要求4或6所述的系统，其特征在于，所述前置光束整形单元还包括：视场光阑；所述视场光阑用于限制整形后的光束光斑大小，使出射光束能够全部入射到MEMS振镜上，拦截多余的杂散光。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述MEMS振镜扫描单元包括：MEMS振镜扫描部件和MEMS扫描驱动部件；所述MEMS扫描驱动部件用于驱动控制所述MEMS振镜扫描部件；所述MEMS扫描驱动部件的驱动方式包括压电驱动、电热驱动、静电驱动和电磁驱动中的一种或多种。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述MEMS振镜扫描部件由单片或多片MEMS振镜阵列组成，所述单片或多片MEMS振镜阵列依据对应的扫描驱动信号分别对整形后的光束进行扫描反射。

10.一种激光雷达，其特征在于，包括如权利要求1～9任一项所述的基于MEMS振镜的准直系统。