[实用新型]动态稀释仪

权利要求书

1.动态稀释仪，包括机箱，其特征在于，还包括置于所述机箱外部的显示器和配气罐，置于所述机箱上的输入端口和输出端口，所述输出端口包括与所述配气罐连接的配气端口，置于所述机箱内的与所述显示器电连接的单片机控制主板、将所述输入端口与所述输出端口连通的混合气体腔室、位于所述混合气体腔室前端与所述输入端口连接的由所述单片机控制主板控制的单向阀组件、位于所述单向阀组件与所述输入端口之间用于控制所述输入端流量的质量流量计组、位于所述混合气体腔室后端与所述配气端口连接的由所述单片机控制主板电连接的用于控制气体输出的第一电磁阀，和位于所述混合气体腔室后端、由所述单片机控制主板电连接的用于检测所述配气罐内压力的压力传感器。

2.如权利要求1所述的动态稀释仪，其特征在于，所述输入端口包括至少一个标准气体输入端和至少一个补充气体输入端；所述单向阀组件包括至少一个与所述标准气体输入端连接的第一单向阀和至少一个与所述补充气体输入端连接的第二单向阀，所述质量流量计组包括至少一个与所述第一单向阀联通的第一质量流量计和至少一个与所述第二单向阀联通的第二质量流量计。

3.如权利要求2所述的动态稀释仪，其特征在于，所述输入端口包括两个标准气体输入端和一个补充气体输入端，所述单向阀组件包括两个与所述标准气体输入端连接的第一单向阀和一个与所述补充气体输入端连接的第二单向阀，所述质量流量计组包括两个分别设置于所述第一单向阀和标准气体输入端之间的第一质量流量计和一个至于所述第二单向阀和补充气体输入端之间的第二质量流量计。

4.如权利要求1所述的动态稀释仪，其特征在于，所述输出端口还包括排空端口和位于所述混合气体腔室后端与所述排空端口连接的由所述单片机控制主板电连接的用于控制气体输出的第二电磁阀。

5.如权利要求4所述的动态稀释仪，其特征在于，所述排空端口为放空阀。

6.如权利要求2所述的动态稀释仪，其特征在于，所述标准气体输入端与所述第一单向阀之间还设有用于加热标准气体的加热腔室。

7.如权利要求6所述的动态稀释仪，其特征在于，所述加热腔室为烤箱。

8.如权利要求1所述的动态稀释仪，其特征在于，还包括置于所述机箱内的电源以及设于所述机箱上用于控制电源的开关，所述电源与所述单片机控制主板电连接为所述显示器、所述质量流量计、所述单向阀组件以及所述压力传感器供电。

9.如权利要求1所述的动态稀释仪，其特征在于，所述配气罐为苏玛罐。

10.如权利要求1所述的动态稀释仪，其特征在于，所述混合气体腔室为硅烷化硬管。