[实用新型]一种分选机

说明书

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种分选机，该分选机通过挑拣晶粒片源中的异常晶粒并通过真空收集装置收集，实现正常晶粒和异常晶粒的分选，提升分选效率，提高生产效率。

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种分选正常晶粒和异常晶粒的分选机。

背景技术

随着发光二极管广泛应用于显示屏、指示灯、数码产品、背光源等不同领域，客观上对发光二极管的需求呈现快速增加。常规的发光二极管经外延工艺和芯片工艺之后，部分晶粒由于在生产过程中造成的异常损伤，导致其不能正常使用，该部分晶粒需挑拣出来。

目前常规的分选机，分选原理是：不同规格的正常晶粒和异常晶粒混合排列于并粘附于蓝膜上，分选机分选摆臂上的吸嘴吸附单个不同规格的正常晶粒并将其转移至另一蓝膜上，异常晶粒则留存在原蓝膜上，从而完成分选。目前的分选机存在如下不足：①分选机为单颗抓取模式，抓取效率较低；②通过吸嘴吸附抓取晶粒，吸嘴寿命有限，当其损坏时需更换，增加分选成本；③正常晶粒需转移至另一蓝膜上，从而增加了蓝膜的用量。

发明内容

为解决以上的技术问题，本实用新型提供一种分选机，用于分选置于粘性膜上的晶粒，至少包括，固定粘性膜的中空载盘、扫描晶粒以判断晶粒是否异常的扫描装置、将晶粒从粘性膜上顶出的顶针模组以及控制装置，其特征在于：

所述载盘可升降并且竖直设置；

与所述载盘相对设置有通过气流吸附晶粒的吸气装置；

所述扫描装置位于吸气装置载盘的中间的上方，于所述扫描装置下方设置有反光件，扫描装置通过反光件扫描载盘上的晶粒；

于所述载盘和吸气装置下方设置收集异常晶粒的收集装置。

优选的，所述真空收集装置包括回收槽、收集瓶、抽真空装置，以及连接回收槽、收集瓶和抽真空装置的真空管路，异常晶粒在抽真空装置的真空气流作用下从回收槽进入收集瓶内。

优选的，所述真空收集装置呈“U”型，收集瓶安装于底端，回收槽和抽真空装置位于两端。

优选的，所述收集瓶可拆卸地安装于真空收集装置的底端。

优选的，所述收集瓶外周设置有判定收集瓶是否装满的限位感应器。

优选的，所述回收槽为便于收集晶粒的漏斗状，所述回收槽的开口直径大于吸气装置和晶粒载盘之间的距离。

优选的，所述顶针模组包括单个顶针或者复数个顶针。

优选的，所述顶针的数目大于等于2。

优选的，所述反光件为反光镜。

优选的，所述扫描装置为CCD。

本实用新型通过对现有分选机进行改进，将晶粒载盘竖直设置，顶针模组水平设置，并且新增与载盘相对设置的吸气装置和位于载盘和吸气装置下方的真空收集装置，通过顶针模组将异常晶粒从载盘上顶出，并进入真空收集装置内，实现正常晶粒和异常晶粒的分选作业。该过程中无需分选摆臂、吸嘴、放置正常晶粒的蓝膜等耗材，从而降低分选成本。并且，顶针模组内的多颗顶针可根据需要同时对多颗芯粒同时作业，大大提升机台作业效率。

附图说明

图1为本实用新型之实施例一之分选机部分结构示意图

图2为本实用新型之实施例二之分选机部分结构示意图

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

具体实施方式