[实用新型]基于微机电探针的垂直式探针卡

权利要求书

1.一种基于微机电探针的垂直式探针卡，其特征在于：包括探针头(1)和设置在所述探针头(1)顶部的补强板(2)，所述探针头(1)包括上导板(3)和下导板(4)，所述上导板(3)和下导板(4)之间设有空间调节器(5)，所述空间调节器(5)均匀地分布在所述上导板(3)和下导板(4)两侧，所述下导板(4)的中心开设有通槽，所述通槽内设有微机电探针(6)，所述微机电探针(6)自上而下插入上下导板(4)形成探针头(1)，所述探针头(1)与所述补强板(2)之间设有探针头(1)安装基座(7)，所述探针头(1)安装基座(7)连接封装基板(8)，所述封装基板(8)连接PCB板(9)，所述PCB板(9)连接所述补强板(2)。

2.根据权利要求1所述的一种基于微机电探针的垂直式探针卡，其特征在于：所述封装基板(8)的顶部设置有若干锡块，所述封装基板(8)通过若干所述锡块与所述PCB板(9)焊接。

3.根据权利要求1所述的一种基于微机电探针的垂直式探针卡，其特征在于：所述PCB板(9)包括上下并列设置的上板体和下板体，所述上板体的直径大于所述下板体的直径，所述下板体的侧面等距设置有多个凹槽，所述凹槽水平设置，所述凹槽内设有弹片。

4.根据权利要求1所述的一种基于微机电探针的垂直式探针卡，其特征在于：所述封装基板(8)包括依次连接的第一线路层、介电层和第二线路层，所述封装基板(8)上设有若干通孔，所述若干通孔贯穿所述第一线路层、介电层和第二线路层，所述若干通孔的底面与所述第二线路层的下表面在同一平面上。

5.根据权利要求3所述的一种基于微机电探针的垂直式探针卡，其特征在于：所述上板体为圆盘形状，所述下板体为圆柱形状，且上板体与下板体一体成型。

6.根据权利要求1所述的一种基于微机电探针的垂直式探针卡，其特征在于：所述微机电探针(6)通过所述下导板(4)延伸出所述探针头(1)的底部。