[实用新型]一种集成电路无氧真空储存箱设备

说明书

本实用新型公开了一种集成电路无氧真空储存箱设备，包括外壳，所述外壳内部设有第一工作室与第二工作室，所述第二工作室设于第一工作室一侧，所述第一工作室内部设有多个存储内胆，多个所述存储内胆一侧均设有密封门以及另一侧均设有第一连接管与第二连接管，所述第二连接管设于第一连接管底部，所述第一连接管与第二连接管底部均设有密闭电磁阀，多个所述存储内胆外侧均设有肋片以及底部设有搁板。本实用新型通过设有数字式电阻真空计，由于电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，所以本实用新型还设有PLC控制器对此非线性进行误差修正，从而提高了本实用新型中数字式电阻真空计的测量精度，使得本实用新型的实际使用效果更好。

技术领域

本实用新型涉及真空储存技术领域，特别涉及一种集成电路无氧真空储存箱设备。

背景技术

集成电路无氧真空储存设备是真空储存设备的一种，可用于存储各行业所用到的集成电路、IC、晶圆、CMOS、bumping、tsv和指纹识别设备等精密元器件，其存储方式为在真空无氧状态下的真空无氧储存，但是现有的集成电路无氧真空储存设备在实际使用时还存在一些缺点，如无法准确连接设备内气压值，或检测出的气压值偏差较大等，还有就是设备使用寿命时间较短。

因此，发明一种集成电路无氧真空储存箱设备来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种集成电路无氧真空储存箱设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种集成电路无氧真空储存箱设备，包括外壳，所述外壳内部设有第一工作室与第二工作室，所述第二工作室设于第一工作室一侧，所述第一工作室内部设有多个存储内胆，多个所述存储内胆一侧均设有密封门以及另一侧均设有第一连接管与第二连接管，所述第二连接管设于第一连接管底部，所述第一连接管与第二连接管底部均设有密闭电磁阀，多个所述存储内胆外侧均设有肋片以及底部设有搁板，所述第一工作室内侧设有绝对压力变送器，所述第二工作室内部设有真空泵，所述真空泵一侧设有数字式电阻真空计，所述数字式电阻真空计一侧设有第一氧气含量分析仪，所述第一氧气含量分析仪一侧设有第二氧气含量分析仪，所述第二氧气含量分析仪一侧设有第三氧气含量分析仪，所述第三氧气含量分析仪一侧设有氮气接入管，所述氮气接入管上设有氮气接入阀，所述外壳侧面设有控制柜，所述控制柜内部设有触摸屏，所述触摸屏底部设有PLC控制器，所述外壳底部设有水平支撑架，所述水平支撑架底部设有移动脚轮。

优选的，所述外壳侧面设有门，所述门与外壳之间、密封门与存储内胆之间均设有硅橡胶密封条，所述硅橡胶密封条内部设有压力传感器，所述压力传感器型号设置为LPS25HBTR。

优选的，所述存储内胆由SUS3304拉丝不锈钢板制成，所述存储内胆内表面经过磨光处理，所述密封门上设有矩形观察窗，所述矩形观察窗由钢化玻璃材料制成。

优选的，所述第一工作室和第二连接管均通过管道与真空泵连接。

优选的，所述PLC控制器型号设置为FX-30-48RM，所述第一氧气含量分析仪、第二氧气含量分析仪和第三氧气含量分析仪型号均设置为GAXT-X，所述数字式电阻真空计型号设置为CVM-211，所述绝对压力变送器型号设置为SC3051AP。

优选的，所述数字式电阻真空计、第一氧气含量分析仪、第二氧气含量分析仪、第三氧气含量分析仪、绝对压力变送器和触摸屏均与PLC控制器电性连接。