[实用新型]化学机械式研磨装置用承载头的卡环及具备其的承载头

权利要求书

1.一种化学机械式研磨装置用承载头的卡环，安装于在化学机械式研磨工序中将基板加压于研磨垫的承载头上，用于约束所述基板脱离，其特征在于，包括：

卡环主体；

清洗液供应部，其用于向所述卡环主体的内周面供应清洗液；

清洗液残留部，其借助于在所述卡环主体的内周面凸出形成的残留凸起，使所述清洗液暂时残留在所述卡环主体的内周面。

2.根据权利要求1所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述清洗液供应部配置于所述清洗液残留部的上部，

从所述清洗液供应部供应的所述清洗液经过所述清洗液残留部后排出到所述卡环主体的下部。

3.根据权利要求2所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述清洗液供应部包括：

入口流路，其用于引入所述清洗液；

出口流路，其使流入所述入口流路的所述清洗液供应到所述卡环主体的内周面。

4.根据权利要求3所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述入口流路形成在所述卡环主体的上面。

5.根据权利要求4所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述入口流路垂直地形成于所述卡环主体。

6.根据权利要求3所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述入口流路形成在所述卡环主体的侧面。

7.根据权利要求6所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述入口流路水平地形成于所述卡环主体。

8.根据权利要求3所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述出口流路形成为具有小于所述入口流路的截面积。

9.根据权利要求3所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

还包括在所述出口流路的出口端形成的清洗液容纳腔，

所述清洗液经过所述清洗液容纳腔后，供应到所述卡环主体的内周面。

10.根据权利要求3所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

沿着所述卡环主体的圆周方向隔开地形成有多个所述入口流路。

11.根据权利要求10所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述多个入口流路隔开一定间隔地形成。

12.根据权利要求10所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述出口流路的各截面积相加的总截面积大于清洗液排出流路的截面积，所述清洗液排出流路用于排出经过所述清洗液残留部的所述清洗液。

13.根据权利要求1～12中任意一项所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述残留凸起在所述卡环主体的内周面以环形态形成。

14.根据权利要求13所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

在所述卡环主体的内周面，沿上下方向隔开形成有多个所述残留凸起。

15.根据权利要求1～12中任意一项所述的化学机械式研磨装置用承载头的卡环，其特征在于，

所述残留凸起沿着所述卡环主体的内周面，以螺旋形态形成。