[实用新型]透镜组件

说明书

本实用新型提供一种透镜组件，所述透镜组件包括：聚光透镜；用于固定所述聚光透镜的固定座，位于所述聚光透镜的外围；排气系统，所述排气系统包括：排气装置；排气管路，所述排气管路一端与所述排气装置相连接，一端延伸至所述固定座的下表面。本实用新型的透镜组件通过在固定聚光透镜的固定座下表面设置排气管路，可以在进行曝光时通过排气管路将光刻胶挥发的有机物及时排走，可以有效避免有机物在聚光透镜表面的附着，从而保证曝光的正常进行。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种透镜组件。

背景技术

在现有半导体工艺中，如图1所示当使用聚光透镜10进行曝光时，由于晶圆11表面涂覆的光刻胶多带有易挥发的有机物13，在曝光时，所述有机物13会挥发附着在所述聚光透镜10上(如图2所示)，若所述有机物13附着在所述聚光透镜10的曝光区12(如图3所示)，会直接影响曝光光线14的通过，从而影响曝光效果。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种透镜组件，用于解决现有技术中的在曝光时，光刻胶中挥发的有机物会附着在聚光透镜表面，从而影响曝光效果的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种透镜组件，所述透镜组件包括：

聚光透镜；

用于固定所述聚光透镜的固定座，位于所述聚光透镜的外围；

排气系统，所述排气系统包括：

排气装置；

排气管路，所述排气管路一端与所述排气装置相连接，一端延伸至所述固定座的下表面。

优选地，所述排气装置包括排气泵。

优选地，所述排气管路的数量为多个。

优选地，多个所述排气管路延伸至所述固定座下表面的部分固定于所述固定座的下表面，且沿所述固定座周向均匀分布。

优选地，所述透镜组件还包括用于带动所述聚光透镜移动的滑块，所述滑块位于所述聚光透镜外围，且位于所述固定座的上方。

优选地，所述透镜组件还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置与所述滑块相连接，用于驱动所述滑块带动所述聚光透镜移动。

优选地，所述透镜组件还包括承载台，所述承载台位于所述聚光透镜的下方，且与所述聚光透镜的下表面具有间距。

优选地，所述透镜组件还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置与所述承载台相连接，用于驱动所述承载台运动。

如上所述，本实用新型的透镜组件，具有以下有益效果：本实用新型的透镜组件通过在固定聚光透镜的固定座下表面设置排气管路，可以在进行曝光时通过排气管路将光刻胶挥发的有机物及时排走，可以有效避免有机物在聚光透镜表面的附着，从而保证曝光的正常进行。

附图说明

图1显示为现有技术中的聚光透镜进行曝光的局部截面结构示意图。

图2显示为现有技术中的聚光透镜进行曝光时表面附着有机物的示意图。

图3显示为现有技术中的聚光透镜进行曝光时表面附着的有机物覆盖曝光区的示意图。

图4显示为本实用新型提供的透镜组件的立体结构示意图。

元件标号说明

10 聚光透镜

11 晶圆

12 曝光区