[实用新型]用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置

说明书

用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，主要有一块与柔性衬底接触的冷却板，所述的冷却板与柔性衬底直接接触并且紧贴在一起；所述的冷却板的背面开设有冷却水槽，并在背面用密封圈配置有一块将冷却水槽密封其内的背板，在冷却板与背板之间形成有由冷却水槽构成的密闭冷却水流道，一外接水管从背板接入与所述的冷却水流道连通；所述的外接水管通过螺纹管旋接在背板上设置的螺纹水孔中；所述的背板和冷却板之间开设有用于密封圈嵌入的并实现密封的密封圈槽；所述背板上设置有多个螺纹通孔，在冷却板的内侧板面上对应设置有螺纹沉孔，并通过螺钉将背板从下面固定在冷却板的背面上；它具有结构合理，使用方便等特点。

技术领域

本实用新型涉及的是一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，属于真空磁控溅射镀膜技术领域。

背景技术

目前，在真空磁控溅射薄膜生产中，绝大多数生产厂商或研究机构在柔性衬板上采用水冷板或冷却转轮的方式。其中水冷板是铝板埋铜管的设计方式，在通过衬底与水冷板的表面接触，使冷却水在其铜管的循环流动，达到冷却作用。其冷却方式的冷却水没有与水冷板直接接触，而是通过铜管后再与其接触，这样会使冷却效果达不到最佳。其次通过铜管埋铝板的工艺方式，会产生一个粘合度的问题，如果两者之间有缝隙的话，就会影响散热效果甚至出现漏水的情况。还有就是铜管与铝板通过埋管的工艺连合起来，再通过打磨或者飞面的工艺进行处理，使得整块水冷散热板形成一个平整的平面，铜管与铝板是否有融合成一个平面了，有缝隙或不平整都会影响散热效果。其工艺要求严格，难度大。此外旧方式的水冷板为整面平面接触，衬底与其表面很难达到均匀接触，可能导致接触不紧密或者摩擦过大而使张力不稳，导致工艺出错，而且水冷板的整个面的加工平整精度要求极高，难度大。另外一种方式就是采用很大的冷却转轮，采用中空结构，中间通入冷却水，冷却轮放置于镀膜段的衬底背面从而达到冷却效果。而为了达到镀膜面积的要求，冷却轮的直径就必须很大，这就对镀膜设备的空间大小提出了很高的要求，也对镀膜过程产生了很大的限制。

随着在柔性衬底如聚酰亚胺、PET等上进行磁控溅射镀膜技术的不断发展与完善，随着工艺要求的提高，对设备也提出了更好的要求。在工艺进行时，大功率的磁控溅射会使衬底的温度剧烈上升，高温下的衬底会有褶皱弯曲的现象，非常不利于膜层的生长，影响镀膜性能，故须要有高效的冷却技术方法。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种结构合理，使用方便，冷却效果好，能与衬底的发热量匹配，改善衬底出现褶皱弯曲现象的用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置。

本实用新型的目的是通过如下技术方案来完成的，一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，主要有一块与柔性衬底接触的冷却板，所述的冷却板与柔性衬底直接接触并且紧贴在一起。

作为优选：所述的冷却板的背面开设有冷却水槽，并在背面用密封圈配置有一块将冷却水槽密封其内的背板，在冷却板与背板之间形成有由冷却水槽构成的密闭冷却水流道，一外接水管从背板接入与所述的冷却水流道连通；所述的外接水管通过螺纹管旋接在背板上设置的螺纹水孔中；所述的背板和冷却板之间开设有用于密封圈嵌入的并实现密封的密封圈槽；所述背板上设置有多个螺纹通孔，在冷却板的内侧板面上对应设置有螺纹沉孔，并通过螺钉将背板从下面固定在冷却板的背面上。

作为优选：所述的冷却板上下方各安装有左右两根滑轨，背板通过两侧的固定支架及固定支架下部安装的滑块置于对应的滑轨上；所述背板的前部或后部一侧通过安装的螺帽座与螺杆连接，所述的螺杆与电机连接并由该电机通过螺杆带动冷却板前后移动。

作为优选：所述的冷却板用铜板制成，冷却板的表面为与衬底直接接触的弧形表面，所述冷却板的正前方上下两侧分别安装有作为阻挡溅射物物质附着于冷却板上未被衬底覆盖作用的挡板。

本实用新型具有如下优点：

1、冷却效果，