[实用新型]一种微波等离子体工业有机废气处理系统有效
申请号: | 201721562641.1 | 申请日: | 2017-11-21 |
公开(公告)号: | CN207654919U | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 刘程;张贵新;谢宏;邓磊 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | B01D53/32 | 分类号: | B01D53/32;B01D53/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 廖元秋 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微波波导 谐振腔 放电管 工业有机废气处理 微波等离子体炬 工业有机废气 微波等离子体 微波发生器 发生装置 有机废气处理设备 空气等离子体 本实用新型 谐振腔末端 放电金属 化工行业 外壳中心 微波产生 微波电场 系统利用 依次连接 环形器 水负载 下端口 最大处 固连 均布 腔内 轴向 匹配 微波 垂直 | ||
1.一种微波等离子体工业有机废气处理系统,其特征在于:包括一个与工业有机废气管道尺寸相匹配的外壳和固定在所述外壳内呈圆周均布的多个相同的微波等离子体炬发生装置;各微波等离子体炬发生装置均包括依次连接的微波发生器、环形器和水负载、以及微波波导谐振腔,在所述微波波导谐振腔的微波电场幅值最大处设置一非金属微波放电管,该放电管垂直于所述微波波导谐振腔的轴向且下端口凸出于所述微波波导谐振腔,该放电管腔内固定设有放电金属丝;所述微波发生器靠近外壳中心设置,微波波导谐振腔末端与所述外壳固连。
2.根据权利要求1所述的微波等离子体工业有机废气处理系统,其特征在于,所述微波发生器采用磁控管、调速管、行波管、回旋管或者全固态微波源中的任一种。
3.根据权利要求1所述的微波等离子体工业有机废气处理系统,其特征在于,所述非金属微波放电管设置在距离微波波导谐振腔末端3.6cm处。
4.根据权利要求2所述的微波等离子体工业有机废气处理系统,其特征在于,所述微波发生器的输出功率在0.1-30kW之间连续可调。
5.根据权利要求1所述的微波等离子体工业有机废气处理系统,其特征在于,所述微波等离子体炬发生装置的个数为3—12个。
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