[实用新型]一种连续真空镀膜生产线

说明书

本实用新型属于真空镀膜领域，尤其涉及一种连续真空镀膜生产线。所述连续真空镀膜生产线，包括设置在连续真空镀膜生产线中部的镀膜室、设置在连续真空镀膜生产线尾端的后过渡室、出片室，所述后过渡室和出片室之间设置有真空锁，所述后过渡室和出片室之间还设置有用于调节后过渡室和出片室之间的气压的第一气压调节装置。通过在出片室与后过渡室之间设置一个第一气压调节装置，在开启真空锁之前先开启第一气压调节装置，出片室的空气经过第一气压调节装置流入后过渡室，待出片室和后过渡室的气压基本平衡后再开启真空锁，这样既加快了生产速度又不会出现工件损坏、真空锁组件损坏、抽气机组损坏等问题。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜领域，尤其涉及一种连续真空镀膜生产线。

背景技术

现有技术比较典型的连续真空镀膜生产线包括：依次连接的入片室、前过渡室、前精抽室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后精抽室、后过渡室、出片室，上述的各个室统称为“真空室”；除前缓冲室、镀膜室、后缓冲室共用一套镀膜室抽气机组外其它各个真空室装有与之相对应的抽气机组；除前缓冲室、镀膜室、后缓冲室为依次连通无阻隔外其它真空室之间均设有真空锁(一种真空阀门，当其关闭时相邻两真空室隔断；当其开启时相邻两真空室连通，工件可从一室走过另一室)入片室和出片室的最外侧也分别设有真空锁，从前向后设有真空锁1至真空锁8共8套真空锁。

开启真空锁之前相邻两真空室的气体压强是不一样的，通常是靠外侧真空室的气体压强比内侧真空室的气体压强大；例如开启真空锁7之前出片室气压约1000Pa，后过渡室气压约3Pa，为了使真空镀膜设备的生产速率更快就要缩短出片室的抽气时间这样开启真空锁7之前出片室气压会更高(如6000Pa)，与后过渡室气压差就更大。这样就会出现以下问题：1、由于开启真空锁7的瞬间有强大的气流从出片室涌入后过渡室，所以后过渡室的工件(工件通常是玻璃等易碎件)容易损坏或移位；2、真空锁组件受力大容易损坏；3、瞬间大量气体涌入后过渡室会造成抽气机组工作不正常或损坏。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种连续真空镀膜生产线，克服现有的技术因缩短抽气时间导致的出片室和后过渡室的压差大，进而导致开启真空锁后出现的工件损坏，真空锁组件损坏，抽气机组损坏等问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：包括设置在连续真空镀膜生产线中部的镀膜室、设置在连续真空镀膜生产线尾端的后过渡室、出片室，所述后过渡室和出片室之间设置有真空锁，所述后过渡室和出片室之间还设置有用于调节后过渡室和出片室之间的气压的第一气压调节装置。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述连续真空镀膜生产线还包括设置在连续真空镀膜生产线头端的入片室、前过渡室，所述入片室、前过渡室之间设置有真空锁，所述入片室和前过渡室之间还设置有用于调节入片室和前过渡室之间的气压的第二气压调节装置。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述第一气压调节装置包括连通后过渡室和出片室的第一管道和设置在第一管道上的第一平衡阀。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述第二气压调节装置包括连通入片室和前过渡室的第二管道和设置在第二管道上的第二平衡阀。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述连续真空镀膜生产线还包括一端密封连接镀膜室另一端密封连接前过渡室的前精抽室，所述镀膜室、前精抽室、前过渡室之间的连接处均设有真空锁。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述连续真空镀膜生产线还包括一端密封连接镀膜室另一端密封连接后过渡室的后精抽室，所述镀膜室、后精抽室、后过渡室之间的连接处均设有真空锁。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述连续真空镀膜生产线还包括密封设置在镀膜室和后精抽室之间的后缓冲室以及密封设置在镀膜室和前精抽室之间的前缓冲室，所述镀膜室与前缓冲室及后缓冲室直接相连。