[实用新型]一种基于电频率控制的微液滴驱动装置

权利要求书

1.一种基于电频率控制的微液滴驱动装置，其特征在于：包括下基板（1）、下基板电极（2）、第一介质层（3-1）、第二介质层（3-2）、第三介质层（3-3）、下基板疏水层（4-1）、上基板疏水层（4-2）、上基板电极（6）和上基板（7）；下基板（1）为二阶阶梯形，上基板（7）平行设置在下基板（1）的正上方，两者之间形成第一空腔（9）和第二空腔（5），第一空腔（9）的高度 D₁与第二空腔（5）的高度D₂满足4D₂<D₁ <7D₂，待驱动的微液滴（8）位于第一空腔（9）和第二空腔（5）之间；下基板（1）顶面涂覆下基板电极（2），下基板电极（2）顶面涂覆第一介质层（3-1）、第二介质层（3-2）和第三介质层（3-3），第一介质层（3-1）、第二介质层（3-2）和第三介质层（3-3）顶面涂覆下基板疏水层（4-1）；上基板（7）底面涂覆上基板电极（6），上基板电极（6）底面涂覆上基板疏水层（4-2）。

2.根据权利要求1所述的基于电频率控制的微液滴驱动装置，其特征在于：位于第一空腔（9）内的第一介质层（3-1）的厚度为d₁，位于第二空腔（5）内的第三介质层（3-3）的厚度d₂，d₁和d₂满足7d₁ <d₂ <12d₁，位于第一空腔（9）和第二空腔（5）之间的第二介质层（3-2）的厚度为d₁到d₂之间的任意值。

3.根据权利要求1所述的基于电频率控制的微液滴驱动装置，其特征在于：所述的微液滴（8）为单组分或多组分的导电性液体。