[实用新型]多晶铸锭DS块

说明书

本实用新型提供一种多晶铸锭DS块，包括固定板和承载板，所述承载板上设有保温槽，所述保温槽内设有保温板，所述保温板的热导率低于所述承载板的热导率，所述承载板的侧边设有多个散热凹槽，每个所述散热凹槽均垂直朝向所述固定板凹陷并贯穿所述固定板的底面，以形成多个散热通孔，所述散热凹槽和所述散热通孔用于增大所述坩埚的纵向温度梯度，本实用新型通过所述保温板的热导率低于所述承载板的热导率的设计，有效的抑制了坩埚内中部温度的散热，通过所述散热凹槽和所述散热通孔的设计，采用在所述多晶铸锭DS块开孔的方式提供热扩散通道，以提高对坩埚边部的散热效果，保持了硅锭整体热平衡，有利于固液界面的水平生长。

技术领域

本实用新型涉及多晶铸锭技术领域，特别涉及一种多晶铸锭DS块。

背景技术

由于当多晶硅锭的晶粒竖直性和连续性较好时，则证明其品质较好。而在长晶阶段，由于受热场温度不均衡影响，使得边部晶粒会出现倾斜生长，导致其品质大打折扣。因此对热场改造的基本思想是，抑制多晶铸锭DS块上坩埚内中部的散热，并扩大其边部的散热，这样才能维持坩埚内固液界面水平方向过冷度的一致性，改善晶粒生长竖直性，提高品质良率。

现有的对热场改造的方式是，通过在多晶铸锭DS块四周铺设隔热条，以提高坩埚内的纵向温度梯度，防止坩埚内边部晶粒出现倾斜生长，以提高品质良率。

现有的对热场改造的方式只能防止坩埚内边部晶粒出现倾斜生长，对硅锭整体晶体生长的热均匀性的调节作用不大，并不能抑制多晶铸锭DS块上坩埚内中部的散热，且降低了坩埚边部的散热效果。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的在于提供一种多晶铸锭DS块，用于解决不能有效抑制坩埚内中部的散热和不能有效扩大其边部散热的问题。

一种多晶铸锭DS块，包括固定板和设于所述固定板上的承载板，所述承载板背向所述固定板的一侧设有保温槽，所述保温槽内设有保温板，所述保温板的热导率低于所述承载板的热导率，所述保温板用于减缓坩埚中部的散热，所述承载板的侧边设有多个散热凹槽，每个所述散热凹槽均垂直朝向所述固定板凹陷并贯穿所述固定板的底面，以形成多个散热通孔，所述散热凹槽和所述散热通孔用于增大所述坩埚的纵向温度梯度。

上述多晶铸锭DS块，通过所述保温槽的设计，有效的对所述保温板起到了承载固定的作用，提高了所述保温板与所述承载板之间结构的稳定性，通过所述保温板的热导率低于所述承载板的热导率的设计，有效的抑制了坩埚内中部温度的散热，通过所述散热凹槽和所述散热通孔的设计，采用在所述多晶铸锭DS块开孔的方式提供热扩散通道，以提高对坩埚边部的散热效果，保持了硅锭整体热平衡，有利于固液界面的水平生长。

进一步地，所述保温槽的深度大于所述保温板的厚度，以在所述保温板与所述坩埚底面之间形成一保温通道。

进一步地，所述保温槽的侧边设有凸起槽，所述凸起槽采用半圆柱形结构，所述凸起槽用于方便所述保温板的拆卸。

进一步地，所述保温板朝向所述固定板的一侧的边缘设有抓取槽，所述抓取槽朝向所述保温板内部凹陷，所述抓取槽用于所述保温板的抓取。

进一步地，所述承载板上对立两侧边上的所述散热凹槽的形状和数量均相同。

进一步地，所述保温槽的中部垂直设有一限位柱，所述保温板上设有与所述限位柱相匹配的限位孔。

进一步地，所述固定板的顶角上设有定位柱，所述定位柱用于方便隔热条的安装。

进一步地，所述固定板和所述承载板采用石墨制成，所述保温板采用碳纤维护毡制成。

进一步地，所述保温槽的深度小于所述承载板的厚度。

进一步地，所述保温槽的底面采用曲面结构，且朝向所述承载板的内部凹陷。

附图说明