[实用新型]一种羰基金属镀层装置有效
申请号: | 201721543778.2 | 申请日: | 2017-11-17 |
公开(公告)号: | CN207468724U | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 肖冬明;马国生;王良;罗世铭;陈菊华;孙顺盈;李志鹏;冀文利;刘正伟;宋晓红;白玉婷 | 申请(专利权)人: | 金川集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/16 | 分类号: | C23C16/16;C23C16/455 |
代理公司: | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人: | 陈醒 |
地址: | 737103*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 羰基金属 本实用新型 镀层装置 一端设置 镀层 致密 加热器 镀层设备 金属镀层 箱体底面 箱体顶面 有效解决 安置面 进气管 排气管 电镀 蒸汽 安置 | ||
1.一种羰基金属镀层装置,其特征在于:包括箱体(1),所述箱体(1)底面为镀层工件安置面(2),箱体顶面设置有与镀层工件安置面(2)相对应的加热器(3),箱体(1)一端设置有进气管(4),箱体(1)另一端设置有排气管(5)。
2.如权利要求1所述的一种羰基金属镀层装置,其特征在于:所述箱体(1)与进气管(4)的连接段(6)呈喇叭状结构,该连接段(6)相对于镀层工件安置面(2)向下倾斜。
3.如权利要求1所述的一种羰基金属镀层装置,其特征在于:所述箱体(1)顶部设置有可拆卸的上盖板(7),上盖板(7)位于加热器(3)上方。
4.如权利要求1所述的一种羰基金属镀层装置,其特征在于:所述箱体(1)底部设置有可拆卸的下盖板(8),镀层工件安置面(2)位于下盖板(8)上方。
5.如权利要求1所述的一种羰基金属镀层装置,其特征在于:所述加热器(3)为远红外加热器。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的