[实用新型]一种三维磁场探针台

说明书

本实用新型公开了一种三维磁场探针台，包括支架、线圈、CCD镜头、样品台、探针和样品盘，所述支架上安装有线圈，线圈由最内层小线圈、中间层线圈和最外层大线圈组成，所述支架上安装有位移平台和CCD镜头支架，CCD镜头支架上安装有CCD镜头，所述位移平台上安装有探针座和探针座移动孔；所述位移平台上安装有X方向位移手柄、样品台、旋转手柄和Y方向位移手柄；采用无磁材料制成，三对类亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间三维磁场，线圈采用水冷结构，并且配备有线圈过热保护装置，可以长时间稳定工作；可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。

技术领域

本实用新型涉及显微镜技术领域，具体是一种三维磁场探针台。

背景技术

探针台在物理及半导体领域是一种应用广泛的非破坏性测试手段，可以对材料或器件的电学特性、光电特性、高频特性（射频、微波、毫米波、太赫兹波）等测量提供一个平台。磁场探针台可提供磁场并施加于材料或器件，研究它们在磁场下的相关特性，其典型应用包括磁学、自旋电子学、半导体物理与器件、量子器件等。

目前，磁场探针台被广泛应用，但它存在不足之处：现有的磁场探针台主要提供一个维度（方向）的磁场，不能满足研究材料或器件随磁场方向变化的特性等需求；并且它能够放置的探针座和探针较少，使得进行一些更为复杂的测量变得困难。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种三维磁场探针台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种三维磁场探针台，包括支架、线圈、CCD镜头、样品台、探针和样品盘，所述支架上安装有线圈，线圈由最内层小线圈、中间层线圈和最外层大线圈组成，所述支架上安装有位移平台和CCD镜头支架，CCD镜头支架上安装有CCD镜头，所述位移平台上安装有探针座和探针座移动孔；所述位移平台上安装有X方向位移手柄、样品台、旋转手柄和Y方向位移手柄，所述样品台上安装有第一级滑块和第二级滑块，所述样品台上设有旋转标尺和固定标尺，所述探针座上安装有探针，探针下方设有压片。

作为本实用新型进一步的方案：每个线圈上装有两个温度开关。

作为本实用新型进一步的方案：所述旋转手柄安装在样品台的平面内，旋转手柄连接旋转机构，所述样品台底部设有定位销孔。

作为本实用新型进一步的方案：所述X方向位移手柄连接第一级滑块，Y方向位移手柄连接第二级滑块。

作为本实用新型进一步的方案：所述旋转标尺和固定标尺上分别设有X方向刻度线和Y方向刻度线。

作为本实用新型进一步的方案：所述样品台上刻有十字中心线，样品台上设有样品盘，样品盘的种类为四个，分别可以放置直径为4英寸、3英寸、2英寸和1英寸的样品。

作为本实用新型进一步的方案：所述线圈冷却形式为水冷，线圈上设有水冷结构，每个线圈带有入水口和出水口，最终被串联起来，在最外层大线圈底下流出总的入水口和出水口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：所述的一种三维磁场探针台，采用无磁材料制成，三对类亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间三维磁场，线圈采用水冷结构，并且配备有线圈过热保护装置，可以长时间稳定工作。通过软件或者电源前面板控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。