[实用新型]一种片式电阻溅射侧电极装置有效
| 申请号： | 201721531311.6 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN207474187U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李福喜;黄明怀;徐建建;陈立俊 | 申请（专利权）人： | 贝迪斯电子有限公司 |
| 主分类号： | H01C17/28 | 分类号： | H01C17/28 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 倪波 |
| 地址： | 233000 安徽省蚌*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 片式电阻 侧电极 压板 本实用新型 压紧组件 卡板 托架 开口 固定连接弹簧 配合连接 省力 省时 圆滚 加工 | ||
1.一种片式电阻溅射侧电极装置，其特征在于：包括托架（1），在托架（1）的一侧设有开口（2），在开口（2）处配合连接压紧组件（3）；
压紧组件（3）包括压板（4），在压板（4）的一侧设有第一卡板（5），在压板（4）的另一侧设有第二卡板（6），在压板（4）上还固定连接弹簧（7）。
2.根据权利要求1所述的一种片式电阻溅射侧电极装置，其特征在于：所述托架（1）包括方形的环状框架（8），在所述开口（2）相对一侧环状框架（8）上设有通槽（9），在通槽（9）的两侧分别设有一个挡销（10），在环状框架（8）内设有底板（11），底板（11）与挡销（10）限位配合。
3.根据权利要求2所述的一种片式电阻溅射侧电极装置，其特征在于：在所述开口（2）两侧的所述环状框架（8）内均设有一个凹槽（16），所述底板（11）对应设置在两个凹槽（16）内。
4.根据权利要求1所述的一种片式电阻溅射侧电极装置，其特征在于：在所述第一卡板（5）的外侧设有半圆形卡槽（12），在所述第二卡板（6）的外侧设有挂钩（13）。
5.根据权利要求1所述的一种片式电阻溅射侧电极装置，其特征在于：在所述开口（2）一侧的托架（1）通过销轴（14）连接扣板（15），扣板（15）与所述第二卡板（6）扣接配合。
6.根据权利要求5所述的一种片式电阻溅射侧电极装置，其特征在于：所述扣板（15）的内侧设有与第二卡板（6）扣接的卡槽。
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