[实用新型]一种单晶炉保温热场有效
| 申请号: | 201721529532.X | 申请日: | 2017-11-16 |
| 公开(公告)号: | CN207418907U | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
| 发明(设计)人: | 王礼彬 | 申请(专利权)人: | 四川高铭科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 62500*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 保温层 卡扣 导流筒 安装面 凸部 上保温层 凸台 下保温层 温热 安装台 单晶炉 圆环形 内筒 梯台 外筒 压环 加热器 本实用新型 均匀开设 均匀设置 内部设置 石墨坩埚 凸台外壁 外筒内部 位于炉体 排气孔 炉体 有压 直臂 | ||
1.一种单晶炉保温热场,包含炉体(1)、保温层(2)、加热器(3)、石墨坩埚(4)、导流筒(5)和排气孔(6),所述炉体(1)内部设有所述保温层(2),所述保温层(2)内设置有所述加热器(3),所述加热器(3)内部设置有所述石墨坩埚(4),所述石墨坩埚(4)上方设置有所述导流筒(5),所述导流筒(5)安装在所述保温层(2)上,所述保温层(2)底部设置有所述排气孔(6),所述排气孔(6)穿过所述炉体(1),其特征在于:
所述保温层(2)包含上保温层(22)、中保温层(23)和下保温层(24),所述上保温层(22)上方设置有安装台(21),所述安装台(21)为圆环形,所述安装台(21)上设有安装面(211),所述安装面(211)内侧设有梯台(212),所述安装面(211)外侧设有压环安装梯台(215),所述压环安装梯台(215)上方安装有压环(25),所述安装面(211)均匀开设有四个卡扣凸部槽(213),所述卡扣凸部槽(213)内设有凸部(214),所述中保温层(23)位于所述上保温层(22)下方,所述下保温层(24)位于所述炉体(1)底部和所述中保温层(23)下方;
所述导流筒(5)包括外筒(51)、导流筒保温层(52)、内筒(53)和凸台(54),所述外筒(51)内部设置有所述导流筒保温层(52),所述导流筒保温层(52)内部设置有所述内筒(53),所述外筒(51)设置有所述凸台(54),所述凸台(54)为圆环形,所述凸台(54)外壁面上均匀设置有四个卡扣(55),所述卡扣(55)由卡扣直臂(551)和卡扣凸部(552)组成。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉保温热场,其特征在于:所述上保温层(22)、所述中保温层(23)和所述下保温层(24)均分为四层,最内层为固化炭毡层,第二层为真空层,第三层也为固化炭毡层,第四层为钢筒层。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉保温热场,其特征在于:所述上保温层(22)最内层的固化炭毡层厚度为30mm,所述中保温层(23)和所述下保温层(24)最内层的固化炭毡层厚度为20mm。
4.根据权利要求2所述的一种单晶炉保温热场,其特征在于:所述上保温层(22)、所述中保温层(23)和所述下保温层(24)的真空层厚度为5mm。
5.根据权利要求2所述的一种单晶炉保温热场,其特征在于:所述上保温层(22)、所述中保温层(23)和所述下保温层(24)第三层的固化炭毡层厚度为20mm。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉保温热场,其特征在于:所述卡扣凸部(552)位于所述卡扣直臂(551)外侧下部。
7.根据权利要求6所述的一种单晶炉保温热场,其特征在于:所述卡扣凸部(552)外侧一面为倾斜面,倾角为30~60°。
8.根据权利要求1所述的一种单晶炉保温热场,其特征在于:所述凸部(214)位于所述卡扣凸部槽(213)内侧和所述梯台(212)外侧。
9.根据权利要求8所述的一种单晶炉保温热场,其特征在于:所述凸部(214)宽度与卡扣直臂(551)内端面到卡扣凸部(552)的距离相等。
10.根据权利要求8所述的一种单晶炉保温热场,其特征在于:所述卡扣凸部槽(213)外侧一面为倾斜面,倾角与卡扣凸部(552)倾斜面倾角相同。
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