[实用新型]一种单晶炉籽晶夹持器有效

专利信息
申请号: 201721529455.8 申请日: 2017-11-16
公开(公告)号: CN207418911U 公开(公告)日: 2018-05-29
发明(设计)人: 王礼彬 申请(专利权)人: 四川高铭科技有限公司
主分类号: C30B15/32 分类号: C30B15/32;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 625000 *** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 弹性夹持件 夹紧件 连接杆 石墨垫圈 籽晶 籽晶夹持器 单晶炉 护套 下端 本实用新型 断裂的 内夹
【说明书】:

一种单晶炉籽晶夹持器,包括连接杆、石墨垫圈、弹性夹持件、夹紧件、籽晶以及护套,所述连接杆与弹性夹持件连接,石墨垫圈设于连接杆与弹性夹持件之间,夹紧件设于连接杆下端,弹性夹持件与石墨垫圈设于夹紧件内,夹紧件下端外侧设有护套,弹性夹持件内夹持有籽晶。本实用新型结构简单,改善了籽晶易断裂的现象,提高生产率,降低生产成本。具有较强的实用性。

技术领域

本实用新型涉及单晶生产制造技术领域,尤其涉及一种单晶炉籽晶夹持器。

背景技术

在太阳能电池、电子器件和电路用单晶硅片的生产过程中,采用单晶炉,使得多晶硅原料在石英坩埚中熔化,并用直拉法从硅熔体中拉制硅单晶。

在直拉硅单晶生产中,籽晶夹持器时部件,籽晶需要牢固地固定在籽晶夹持器中,确保拉制过程中籽晶不会脱落,单晶生长过程才能够顺利完成,所以夹持器下端的籽晶夹头的结构要与所夹持的硅籽晶的形状像配合。一般来说,夹持器的下端一般使用钼或者高纯石墨制成。

目前直拉单晶硅生产中使用的籽晶夹持器,主要特征为卡口籽晶,使用单边称重受力的方式,这就会导致在拉晶过程中很容易出现籽晶断裂的现象,容易出现安全事故,并且浪费原材料以及提高生产成本,降低生产效率。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉籽晶夹持器,以解决上述现有技术的不足,改善了籽晶易断裂的现象,提高生产率,降低生产成本。具有较强的实用性。

为了实现本实用新型的目的,拟采用以下技术:

一种单晶炉籽晶夹持器,包括连接杆、石墨垫圈、弹性夹持件、夹紧件、籽晶以及护套,

所述连接杆与弹性夹持件连接,石墨垫圈设于连接杆与弹性夹持件之间,夹紧件设于连接杆下端,弹性夹持件与石墨垫圈设于夹紧件内,夹紧件下端外侧设有护套,弹性夹持件内夹持有籽晶。

进一步地,所述连接杆为耐高温钢材。

进一步地,所述连接杆通过外螺纹与夹紧件的内螺纹连接。

进一步地,所述连接杆通过下端中部的内螺纹与弹性夹持件的外螺纹连接。

进一步地,所述弹性夹持件采用钼材料制成,且具有圆形空腔。

进一步地,所述夹紧件内部,上端为圆形空腔,下端为最大半径小于上端圆形空腔半径的圆筒型空腔,筒型空腔上部半径大于下部半径。

进一步地,所述夹紧件由钼材料制成。

进一步地,所述护套由石墨制成。

上述技术方案的优点在于:

1、与现有的籽晶夹持器相比,其夹持件由原来的单面受力变为所夹持籽晶部分均匀受力,能够保证在拉晶过程中不会出现籽晶断裂的现象,并且能够提高生产效率,降低生产成本;

2、单晶炉籽晶夹持器中设有的护套,可以使得在高温环境下,夹紧件不会发生较大的变形,而影响弹性夹持件对籽晶的夹持,以确保在拉晶过程中不会出现籽晶掉落的现象,并最终提高生产效率,降低生产成本;

3、本实用新型中在连接杆与弹性夹持件之间设有的石墨垫圈,对下方向上传递的热量具有一定的阻碍作用,从而保护连接杆,增强连接杆的使用寿命;

4、本实用新型结构简单,改善了籽晶易断裂的现象,提高生产率,降低生产成本。具有较强的实用性。

附图说明

图1示出了本实用新型结构主视图。

图2示出了本实用新型弹性夹持件结构图。

图3示出了本实用新型夹紧件结构图。

具体实施方式

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