[实用新型]一种单晶炉吊装导流筒吊装机构有效
| 申请号: | 201721529340.9 | 申请日: | 2017-11-16 |
| 公开(公告)号: | CN207418905U | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
| 发明(设计)人: | 王礼彬 | 申请(专利权)人: | 四川高铭科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 62500*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 吊装机构 导流筒 安装块 凸台 保温层 外筒 单晶炉 内衬 吊环 吊装 本实用新型 吊环安装孔 拆装方便 吊环本体 螺栓通孔 生产效率 外筒顶部 一体结构 灵活的 圆环形 转动轴 籽晶绳 炉内 竖直 外壁 生产 | ||
本实用新型提供一种单晶炉吊装导流筒吊装机构,包括导流筒,其特征在于:导流筒包括外筒、保温层、内衬和凸台,外筒内设置有保温层,保温层内设置有内衬,外筒顶部外壁上设置有凸台,外筒与凸台为一体结构,凸台为圆环形,凸台上安装有吊装机构,一个吊装机构由两个安装块和一个吊环组成,安装块成L形,安装块L形水平部分上开设有四个螺栓通孔,安装块成L形竖直部分上开设有一个吊环安装孔,吊环由吊环本体和转动轴组成。本吊装机构具有拆装方便,使用灵活的特点,且通过使用吊装机构,可使用炉内籽晶绳调节导流筒的高度,增加料的高度,减少生产陈本,提高生产效率。
技术领域
本实用新型涉及单晶硅制造技术领域,具体涉及一种单晶炉吊装导流筒吊装机构。
背景技术
单晶硅是集成电路及太阳能电池板等高精尖设备的重要材料,硅单晶炉在拉制硅单晶的过程中,是在保护气体氩气或氮气保护中进行的,石墨加热器对石墨坩埚托内装满多晶硅原料的坩埚进行加热,使坩埚中的多晶硅原料熔化,并达到工艺引晶要求。此时,单晶硅晶种通过导流筒直接插入到熔融的多晶硅的溶液里,逐步引导坩埚内的熔融多晶硅溶液按照单晶硅晶种的原子排列方式进行结晶。导流筒是单晶硅生长炉中不可缺少的重要部件,对于单晶硅材料的生长具有非常重要的作用。传统的导流筒加完料直接放入炉内安装好,这样造成了加料高度很受限制,促使加料的重量很受限制,从而降低了生产效率,增加了生产的陈本。
实用新型内容
本实用新型提供一种单晶炉吊装导流筒吊装机构,旨在提供一种可增加单晶炉加料高度的技术方案,解决传统导流筒带来的加料高度受限制的技术问题。
为了实现本实用新型的目的,拟采用以下技术方案:
一种单晶炉吊装导流筒吊装机构,包括导流筒,其特征在于:
导流筒包括外筒、保温层、内衬和凸台,外筒内设置有保温层,保温层内设置有内衬,外筒顶部外壁上设置有凸台,外筒与凸台为一体结构,凸台为圆环形,凸台上安装有吊装机构,
一个吊装机构由两个安装块和一个吊环组成,安装块成L形,安装块L形水平部分上开设有四个螺栓通孔,安装块成L形竖直部分上开设有一个吊环安装孔,吊环由吊环本体和转动轴组成。
进一步的,凸台上开设有三组螺纹孔,每组螺纹孔数量为八个,每组螺纹孔存在一个对称中心。
进一步的,八个螺纹孔又被对称中心分为两部分,每部分包含四个螺纹孔,一个部分的四个螺纹孔中心点连线组成一个矩形。
进一步的,每组螺纹孔对称中心与凸台圆心连线之间夹角为120°。
进一步的,四个螺栓通孔中心点连线组成一个矩形,四个螺栓通孔位置与一组螺纹孔的一个部分的四个螺纹孔的位置相匹配。
进一步的,吊装机构与凸台之间通过螺栓通孔和螺纹孔使用螺栓连接。
进一步的,吊环本体和转动轴为一体结构,转动轴安装在吊环安装孔内,转动轴可以在吊环安装孔内自由转动。
本实用新型的有益效果是:本吊装机构具有拆装方便,使用灵活的特点,且通过使用吊装机构,可使用炉内籽晶绳调节导流筒的高度,增加料的高度,减少生产陈本,提高生产效率。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图;
图2是本实用新型俯视图;
图3是本实用新型导流筒俯视图;
图4是本实用新型吊装机构俯视图;
图5是本实用新型吊装机构正视图;
图6是本实用新型吊环结构示意图;
图7是本实用新型图5所示A向视图。
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