[实用新型]一种集成式芯片应力检测设备

权利要求书

1.一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述检测设备包括上光路装置(1)、下光路装置(2)和控制器(3)，所述上光路装置(1)包括上光路集成箱(11)和安装在上光路集成箱(11)内的上光路光机电组件(12)，所述上光路光机电组件(12)包括固定在上光路集成箱(11)内的图像采集器(121)、设置于图像采集器(121)中部的旋转台组(122)以及与旋转台组(122)连接的驱动器(123)；

所述下光路装置(2)包括下光路集成箱(21)、下光路光机电组件(22)以及升降立柱(23)，所述下光路光机电组件(22)包括连接在下光路集成箱(21)上的二维扫描载物台(221)和安装在下光路集成箱(21)内的光源发射器(222)，所述升降立柱(23)的一侧上滑动连接有电机驱动的高度调节板(231)，所述上光路集成箱(11)连接在高度调节板(231)上，所述控制器(3)分别与高度调节板(231)和二维扫描载物台(221)上的驱动电机连接。

2.根据权利要求1所述的一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述图像采集器(121)包括安装在上光路集成箱(11)底部的显微镜物镜(1211)、固定在上光路集成箱(11)内的显微镜体(1212)以及安装在显微镜体(1212)上端的红外相机(1213)，所述显微镜物镜(1211)安装在显微镜体(1212)的正下方，且显微镜物镜(1211)的成像区域小于显微镜体(1212)的集像区域，所述旋转台组(122)安装在显微镜体(1212)和显微镜物镜(1211)之间。

3.根据权利要求2所述的一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述显微镜物镜(1211)为可拆卸的长焦物镜。

4.根据权利要求2所述的一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述旋转台组(122)包括连接在显微镜体(1212)下端的第一步进旋转台(1221)和设置在第一步进旋转台(1221)下方的第二步进旋转台(1222)，所述第二步进旋转台(1222)安装在上光路集成箱(11) 的内底面上，且第二步进旋转台(1222)上安装有第一1/4波片(4)，所述第一步进旋转台(1221)上安装有检偏片(5)，且所述第一1/4波片(4)和检偏片(5)均为工作波长在红外区域的光学器件。

5.根据权利要求1所述的一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述光源发射器(222)包括固定在下光路集成箱(21)内底面上的光源盒(2221)、固定在光源盒(2221)内的发光件(2222)以及安装在光源盒(2221)顶部的固定件(2223)，所述固定件(2223)围设在光源盒(2221)的光源出口处，且固定件(2223)内由上至下依次安装有第二1/4波片(6)和起偏片(7)，所述第二1/4波片(6)和起偏片(7)的两侧均转动连接在固定件(2223)的内壁上。

6.根据权利要求5所述的一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述发光件(2222)为溴钨灯。

7.根据权利要求5所述的一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述起偏片(7)和发光件(2222)之间安装有匀化片(8)。

8.根据权利要求5所述的一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述起偏片(7)和第二1/4波片(6)分别为工作波长在红外区域的光学器件。

9.根据权利要求1所述的一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述检测设备中的光学元件的有效涵盖波长范围均为1150-1200nm。

10.根据权利要求1所述的一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述控制器(3)内置有控制电路，且控制器(3)上安装有单一的摇杆(32)。