[实用新型]一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统

权利要求书

1.一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统，其特征在于：包括用于稳定支撑整个模拟系统的调整底座（Ⅰ）、用于产生特定波长脉冲激光的光源（Ⅱ）、用于对单脉冲激光能量进行衰减衰减与光束调整模块（Ⅲ）、用于对待测样品（19）进行成像和进行能量测量的显微观察模块（Ⅳ）、用于采集并记录待测样品（19）辐射电离效应的响应电信号和控制光斑位置的测试与控制模块（Ⅴ）；所述衰减与光束调整模块（Ⅲ）整体设置于光源（Ⅱ）上方，沿激光进入方向依次包括有第一级1/2λ波片（5）、位于第一级1/2λ波片（5）透射光方向上的第一级偏振分光棱镜（6）、位于第一级偏振分光棱镜（6）的透射光方向上的第二级1/2λ波片（7）、位于第二级1/2λ波片（7）透射光方向上的第二级偏振分光棱镜（8）、位于第二级偏振分光棱镜（8）反射光方向上的光束收集器一（9）、位于第一级偏振分光棱镜（6）的反射光方向上的分光棱镜一（10）、位于分光棱镜一（10）透射光方向上的激光能量计探头一（11）、位于分光棱镜一（10）反射光方向上的光束收集器二（12）、位于第二级偏振分光棱镜（8）透射光方向上的光束匀化器（13），激光经过光束匀化器（13）后射出到后续光路。

2.根据权利要求1所述的一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述调整底座（Ⅰ）包含用于调节调整底座（Ⅰ）的水平位置的调平螺丝（1）和纵向安装于调整底座（Ⅰ）上的导轨（2）。

3.根据权利要求1所述的一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述光源（Ⅱ）、衰减与光束调整模块（Ⅲ）均安装于遮光罩内。

4.根据权利要求1或3所述的一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述光源（Ⅱ）包含用于产生波长为266nm或者532nm或者1064nm的激光的脉冲激光器（3）和光路提升器（4）。

5.根据权利要求1所述的一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述显微观察模块（Ⅳ）包括沿光束匀化器（13）出来的激光方向设置有分光棱镜二（14），分光棱镜二（14）上端设置有显微镜筒与照明光源（15）、摄像头（16），分光棱镜二（14）的透射光方向上设置有激光能量计探头二（17），分光棱镜二（14）的反射光方向设置有可变光斑调节装置（18）；激光经过分光棱镜二（14）后，透射光到达激光能量计探头二（17），反射光经过可变光斑调节装置（18）照射到待测样品（19）上。

6.根据权利要求5所述的一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述照明光源（15）在空间位置上依次经过分光棱镜二（14）、调焦机构、物镜转盘、物镜后到达待测样品（19）表面。

7.根据权利要求1所述的一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述测试与控制模块（Ⅴ）包括用于放置待测样品（19）的精密位移平台，用于测试待测样品待测样品（19）信号的示波器（21），与精密位移平台、示波器信号连接的数据采集与控制卡（22），用于控制系统、数据采集与控制卡（22）连接的计算机（23）。

8.根据权利要求7所述的一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述精密位移平台采用六自由度位移平台（20）。