[实用新型]基板的各角落、边缘端面及边缘端面微倒角的研磨装置

权利要求书

1.一种基板的各角落、边缘端面及边缘端面微倒角的研磨装置，其特征在于，包括：

搬入移动体，在前后方向通过移动手段而移动；

搬入移载装置，于该搬入移动体的下侧通过升降手段升降，且该搬入移载装置的下方经由保持搬入基板的方式设置的吸引保持手段所构成；

角落裁切砥石，具有接近、分离的横移移动手段，接近、分离的该横移移动手段以在该搬入移载装置的该搬入移动体移动路径途中，研磨该吸引保持手段所保持该基板的左右两边的前后角落的方式设置；

第1段台，于上方接收经角落裁切基板的附有吸引保持手段的第1桌台，且以通过第1移动手段在前后方向进退移动的方式设置；

第1端面研磨砥石，以在该第1段台移动路径的左右，研磨该基板左右两边端面的方式设置；

第1微倒角研磨砥石，以在该第1端面研磨砥石前方，研磨经研磨端面的微倒角的方式设置；

第2段台，以在经微倒角研磨该基板的搬出位置与前方之间，借由第2移动手段而进退移动的方式设置；

附有吸引保持手段的第2桌台，于该第2段台上，以上方接收经研磨的该基板且吸引底面的方式设置；

回旋座，以于该第1段台的前进停止位置正上方通过升降手段升降，且通过回旋手段回旋90°的方式设置；

方向转换装置，以吸引保持手段所构成，该吸引保持手段以于该回旋座底面吸引上述基板顶面的方式设置；

第2端面研磨砥石，以于该第2段台的前方移动路径途中，研磨该第2桌台上的该基板的未研磨两边端面的方式设置；

第2微倒角研磨砥石，以于该第2端面研磨砥石前方，研磨经研磨端面的微倒角的方式设置；

搬出移动体，以在该第2段台的前进停止位置的正上方与前方之间，借由移动手段而进退移动的方式设置；以及

搬出移载装置，在该搬出移动体的下方通过升降手段升降，且该搬出移载装置的下方经由保持该第2段台的该第2桌台上的该基板的方式设置的吸引保持手段所构成。