[实用新型]一种金刚线切割片清洗装置有效

专利信息
申请号: 201721502617.9 申请日: 2017-11-13
公开(公告)号: CN207592348U 公开(公告)日: 2018-07-10
发明(设计)人: 张洪旺;史卫利 申请(专利权)人: 无锡帝科电子材料科技有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B3/08
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 214203 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 清洗池 辊筒组件 提篮装置 安装板 导向柱 置物篮 辊筒 本实用新型 清洗装置 驱动电机 线切割 硅片 气缸 啮合 齿轮连接 齿轮啮合 平行设置 清洗效率 相邻齿轮 挂钩 齿轮 掉落 放入 挂设 取放 清洗 受损 劳动
【说明书】:

实用新型涉及一种金刚线切割片清洗装置,包括机架,清洗池,辊筒组件,置物篮,提篮装置和驱动电机,所述清洗池设置在机架上,辊筒组件设置在清洗池中,置物篮设置在辊筒组件上,提篮装置设置在清洗池上方,提篮装置包括气缸,安装板,导向柱和挂钩,挂钩设置在安装板上,气缸设置在机架上且与安装板连接,导向柱设置在机架上,安装板设置在导向柱上,所述辊筒组件包括多个辊筒和齿轮,所述辊筒平行设置,辊筒一端与齿轮连接,相邻齿轮啮合,驱动电机与齿轮啮合。本实用新型能够通过提篮装置挂设多个置物篮同时放入清洗池中,提升了清洗效率,降低了清洗所需劳动人员;能够避免人工取放硅片造成碰撞或掉落,避免硅片受损。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域,特别涉及一种金刚线切割片清洗装置。

背景技术

目前,基于单位产能硅耗少、切割效率高、辅材成本低和可切割薄硅片等优势,金刚线切割单晶硅片已基本取代传统的砂浆切割工艺,大幅增强了单晶硅片的成本竞争力。硅片在金刚线线切割加工过程中,需要对硅片进行清洗。现有的清洗装置通常采用超声清洗,通过超声发生器产生超声频段的机械振动,振动传给水箱,并传给清洗液,清洗液在产生作用下,发生振动,当振动频率足够高时,液体被撕开,形成很多空腔,空腔遇到硅片并破裂,并且把振动能量传给硅片,因此硅片表面的小颗粒,在获得能量以后,脱落下来。现有的超声清洗装置在使用时,需要手动将硅片放置在清洗池中,清洗完成后再取出,清洗效率较低。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术的问题,提供了一种清洗效率较高,有效降低硅片受损风险的金刚线切割片清洗装置。

具体技术方案如下:一种金刚线切割片清洗装置,包括机架,清洗池,辊筒组件,置物篮,提篮装置和驱动电机,所述清洗池设置在机架上,辊筒组件设置在清洗池中,置物篮设置在辊筒组件上,提篮装置设置在清洗池上方,提篮装置包括气缸,安装板,导向柱和挂钩,挂钩设置在安装板上,气缸设置在机架上且与安装板连接,导向柱设置在机架上,安装板设置在导向柱上,所述辊筒组件包括多个辊筒和齿轮,所述辊筒平行设置,辊筒一端与齿轮连接,相邻齿轮啮合,驱动电机与齿轮啮合。

以下为本实用新型的附属技术方案。

作为优选方案,金刚线切割片清洗装置包括加药装置,加药装置设置在机架上。

作为优选方案,所述加药装置包括多个喷头,喷头朝向清洗池。

作为优选方案,所述置物篮包括隔板和侧板,隔板和侧板上设有卡槽。

作为优选方案,所述清洗池包括底板和排水口,底板为漏斗状,排水口设置在底板的底部。

本实用新型的技术效果:本实用新型的一种金刚线切割片清洗装置能够通过提篮装置挂设多个置物篮同时放入清洗池中,提升了清洗效率,降低了清洗所需劳动人员;同时,能够避免人工取放硅片造成碰撞或掉落,避免硅片受损;此外,能够使硅片在置物篮中保持一定间距,保证与清洗液充分接触。

附图说明

图1是本实用新型实施例的一种金刚线切割片清洗装置的俯视图。

图2是本实用新型实施例的一种金刚线切割片清洗装置的侧视图。

图3是本实用新型实施例的置物篮设置在挂钩上的示意图。

图4是本实用新型实施例的置物篮的示意图。

具体实施方式

下面,结合实例对本实用新型的实质性特点和优势作进一步的说明,但本实用新型并不局限于所列的实施例。

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