[实用新型]承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块

说明书

本实用新型提供一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块，包含固定座、剥离组件及吸附组件；固定座具有可拆式固定单元，且固定座具有固定座通气孔，剥离组件设于固定座的底面，且与固定座相互连通，吸附组件设于剥离组件的底面，且与剥离组件相互连通。借此，可使固定座以可拆式固定单元与相关的抽气设备相互结合进行使用，并于剥离不同尺寸的可挠性基板时，由可拆式固定单元将快拆模块加以卸除，以便进行快拆模块的拆换，而达到易于卸除、便于拆换以及节省设备成本的功效。

技术领域

本实用新型涉及一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块，尤指一种可运用于可挠性基板的剥离装置的快拆模块。

背景技术

一般现有承载于承载板的可挠性基板的剥离装置，通常会搭配剥离组件进行使用，而该剥离组件由相互层叠的支撑板与多孔隙材料所构成，而于该多孔隙材料的周缘分别设有密封件；借此，可以多孔隙材料接触该可挠性基板，并以抽气设备连接至该剥离组件，使该支撑板与多孔隙材料之间利用密封件形成气密，且由抽气设备的吸力而让可挠性基板压缩多孔隙材料与密封件产生形变，进而将可挠性基板加以从承载板上剥离，以便移至后续的相关制程。

然而，对现有的剥离组件而言，其以固定的方式设置于抽气设备的下方，而当欲进行剥离不同尺寸的可挠性基板时，则会因该剥离组件无法加以拆卸更换，而需要以另一套剥离装置进行不同尺寸的可挠性基板的剥离使用，不但效率较差，更会增加设备的成本。

因此，如何发明一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块，以使其达到易于卸除、便于拆换以及节省设备成本的目的，借以有效改善现有的缺失，将是本实用新型所欲积极披露之处。

实用新型内容

有鉴于上述习知技术的缺憾，创作人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克服，进而研发出一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块，以期可于剥离不同尺寸的可挠性基板时，达到易于卸除、便于拆换以及节省设备成本的目的。

为达上述目的及其他目的，本实用新型提供一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块，其包含：固定座、剥离组件以及吸附组件；该固定座具有至少一可拆式固定单元，且该固定座具有多个固定座通气孔，该剥离组件设于该固定座的底面，且与该固定座相互连通，该吸附组件设于该剥离组件的底面，且与该剥离组件相互连通。

上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块中，该可拆式固定单元为螺丝孔，或螺丝孔及螺丝的组合。

上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块中，该剥离组件包括透气下板、透气上板、至少一第一多孔隙材料层及可挠性密封环，该第一多孔隙材料层设于该透气下板的顶面，该透气上板层叠于该第一多孔隙材料层的顶面，使该第一多孔隙材料层夹设于该透气下板与该透气上板之间，而该可挠性封圈设于该透气下板的底面，该可挠性密封环密封该透气下板、该透气上板与该第一多孔隙材料层的周缘，该可挠性密封环的截面呈弧型。

上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块中，该透气下板具有多个下通气孔，该等下通气孔位于该可挠性密封环内，该透气上板具有多个上通气孔，该等上通气孔位于该可挠性密封环内，该等固定座通气孔与该等上通气孔以及该等下通气孔相互连通。

上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块中，该可挠性密封环包含第一贴附环部、第二贴附环部及变形环部，该变形环部的截面呈弧型，该第一贴附环部与该第二贴附环部相对向，该变形环部连接于该第一贴附环部与该第二贴附环部的端缘，且该第一贴附环部的底面结合于该透气上板的顶面，该第二贴附环部的顶面结合于该透气下板的底面，而该变形环部位于该透气下板、该透气上板与该第一多孔隙材料层的周缘。

上述的承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的快拆模块中，该可挠性密封环为橡胶、硅胶、PU或PE的材质。