[实用新型]一种掺杂蒸镀源喷嘴结构

说明书

本实用新型提供一种掺杂蒸镀源喷嘴结构，所述掺杂蒸镀源喷嘴设置于掺杂蒸镀源上，在所述掺杂蒸镀源两侧各设有主体蒸镀源，所述主体蒸镀源上设有主体蒸镀源喷嘴，位于两个所述主体蒸镀源喷嘴中间的掺杂蒸镀源喷嘴设有至少两个喷嘴支管，所述喷嘴支管中的至少两个分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。本实用新型改造了掺杂蒸镀源的喷嘴结构，使得掺杂蒸镀源喷嘴由向上方喷出掺杂材料改进为可向左右方向喷出掺杂材料，提高左右两侧的主体蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料含量，同时降低掺杂蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料含量，使得主体蒸镀源喷嘴与掺杂蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料与主体材料含量一致，从而提升掺杂均匀性，提高器件产品性能。

技术领域

本实用新型涉及有机发光二极管显示技术领域，具体涉及一种掺杂蒸镀源喷嘴结构。

背景技术

在平板显示技术中，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器因其轻薄、主动发光、快速响应、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为继液晶显示器(LCD)之后的第三代显示技术。按驱动方式，OLED分为被动式OLED(Passive Matrix OLED，PMOLED)及主动式OLED(Active-matrix OLED，AMOLED)，其中，PMOLED只能制作小尺寸、低分辨率的显示面板，AMOLED因其通过在每个像素中集成薄膜晶体管(TFT)和电容器并由电容器维持电压的方法进行驱动，因而可以实现大尺寸、高分辨率面板，是当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。

AMOLED在实现大尺寸方面使用了线性蒸镀源，其蒸镀源上部是由众多喷嘴(nozzle)排布而成，蒸镀源喷嘴用来控制有机材料均匀分布。蒸镀源喷嘴的设计排布对器件性能有很大影响，尤其关于掺杂均匀性方面更甚。

如图1-1,1-2,1-3所示，目前行业所使用的蒸镀源为传统蒸镀源，掺杂蒸镀源1位于主体蒸镀源2,3中间，主体蒸镀源2,3与掺杂蒸镀源1上均设有管状喷嘴。在主体蒸镀源喷嘴(host nozzle)21,31上方的主体材料含量较高，其位置上蒸发的掺杂材料含量较少。同理在掺杂喷嘴11(dopant nozzle)上方蒸发的掺杂材料含量较高，其位置上蒸发的主体材料含量较少，从而使得掺杂材料(dopant)蒸发与主体材料(HOST)蒸发混合不够均匀。此种不均匀掺杂分布会影响器件产品性能。

实用新型内容

本实用新型提供一种掺杂蒸镀源喷嘴结构，解决了提高主体蒸镀源喷嘴位置上掺杂材料的含量，提升掺杂均匀性，提高器件产品性能的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案为：

本实用新型提供一种掺杂蒸镀源喷嘴结构，所述掺杂蒸镀源喷嘴设置于掺杂蒸镀源上，在所述掺杂蒸镀源两侧各设有主体蒸镀源，所述主体蒸镀源上设有主体蒸镀源喷嘴，位于两个所述主体蒸镀源喷嘴中间的掺杂蒸镀源喷嘴设有至少两个喷嘴支管，所述喷嘴支管中的至少两个分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。

进一步地，所述掺杂蒸镀源喷嘴设置为Y形结构，设有两个喷嘴支管，每个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。或者，

所述掺杂蒸镀源喷嘴设有四个喷嘴支管，每两个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。或者，

所述掺杂蒸镀源喷嘴设有六个喷嘴支管，每三个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。或者所述掺杂蒸镀源喷嘴设置设定数量的多个喷嘴支管。

更进一步地，所述掺杂蒸镀源喷嘴的喷嘴支管呈圆弧状排列，或其他排列结构。

进一步地，所述主体蒸镀源喷嘴用于喷出主体蒸镀源蒸发的主体材料，所述主体材料作为掺杂材料的基体材料；所述掺杂蒸镀源喷嘴用于喷出掺杂蒸镀源蒸发的掺杂材料。