[实用新型]一种应用于柱形旋转靶的挡板组件

说明书

本实用新型公开了一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；自由环呈U型，其外侧部上对称设置有两个限位件；半圆环挡板与自由环的底端相连；连轴环呈U型，设于自由环内部，包括圆环状的底部和环状凸起部；环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧，环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环相连；连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽，环形凹槽上设有球形凹坑，滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。本实用新型无需使用单独配套的电机或者气缸等驱动装置，同时无需使用单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。

技术领域

本实用新型属于溅射镀膜挡板结构技术领域，具体涉及一种应用于柱形旋转靶的挡板组件。

背景技术

溅射镀膜靶材的挡板结构用于防止不同材料靶材溅射的相互污染问题，对于柱形旋转靶而言，常采用半环形挡板结构。现有的半环形挡板开关一般采用两种方式：一种是采用独立的电机加传感器实现挡板的关闭；另一种方式是采用气缸驱动，前述的两种方式均需要配置与挡板单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，从而会导致增加真空漏气故障点。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，无需使用单独配套的电机或者气缸等驱动装置，同时无需使用单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。

实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；

所述自由环呈U型，包括圆环状的底部和环状凸起部，其外侧部上对称设置有两个限位件；

所述半圆环挡板与自由环的底端相连，其延伸方向与自由环的底部的延伸方向相垂直，且半圆环挡板的两个端部分别位于自由环上对应的限位件下方；

所述连轴环呈U型，设于自由环内部，且与自由环同轴设置，包括圆环状的底部和环状凸起部；

所述环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧，所述环状压板位于轴承上方，且环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环上的环状凸起部相连；

所述连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽，环形凹槽上还设有球形凹坑，连轴环和自由环上的环形凹槽共同形成跑道，所述滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。

作为本实用新型的进一步改进，所述自由环外侧部的限位件为限位螺钉，两个限位螺钉之间的连线与自由环的轴线交叉垂直。

作为本实用新型的进一步改进，所述自由环的环状凸起部处设有至少3个用于容纳螺杆的孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述环状压板上设有与螺杆数量一致的定位孔，所述定位孔的位置与自由环的环状凸起部处的孔的位置相对应。

作为本实用新型的进一步改进，所述自由环的底端通过焊接或螺钉与半圆环挡板相连。

作为本实用新型的进一步改进，所述弹性件为弹簧。

作为本实用新型的进一步改进，所述环形凹槽上至少设有3个球形凹坑。

作为本实用新型的进一步改进，所述球形凹坑均布在环形凹槽上。

本实用新型的有益效果：