[实用新型]一种提纯升华设备

权利要求书

1.一种提纯升华设备，其特征在于，包括提纯升华区，真空泵(005)以及真空泵保护装置(003)，所述真空泵保护装置(003)设置在所述真空泵(005)上游，所述真空泵保护装置(003)为回旋式的。

2.根据权利要求1所述的提纯升华设备，其特征在于，所述真空泵保护装置(003)为多层回旋挡尘板(031)。

3.根据权利要求2所述的提纯升华设备，其特征在于，所述多层回旋挡尘板(031)包括多个“T”型板(032)，所述“T”型板(032)上下交互设置，从而在“T”型板之间形成上下弯曲的通道。

4.根据权利要求3所述的提纯升华设备，其特征在于，所述“T”型板采用抽插安装方式。

5.根据权利要求1所述的提纯升华设备，其特征在于，所述的提纯升华区设置升华炉体(001)。

6.根据权利要求5所述的提纯升华设备，其特征在于，还包括真空过渡室(002)，所述真空过渡室(002)设置在所述升华炉体(001)之后，在所述真空过渡室(002)之后连接所述真空泵保护装置(003)。

7.根据权利要求6所述的提纯升华设备，其特征在于，还包括真空管道(004)，所述真空泵保护装置(003)通过真空管道(004)连接真空泵(005)。

8.根据权利要求7所述的提纯升华设备，其特征在于，所述升华炉体(001)依次分为石英舟(010)，高温区(011)，收集区(012)，低温区(013)。