[实用新型]一种转盘的精确定位和步进机构及石英晶体谐振器系统有效
| 申请号： | 201721479559.2 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN207380561U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 王占奇 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;F27B9/30;F27B9/40 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100027 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 转盘 精确 定位 步进 机构 石英 晶体 谐振器 系统 | ||
1.一种转盘的精确定位和步进机构，其特征在于，包括转盘(1)、连接轴(2)、减速器(4)、输入定位盘(5)、驱动马达(6)和输入端传感器(8)，所述转盘(1)通过连接轴(2)与所述减速器(4)的输出轴端轴连接，所述输入定位盘(5)与所述减速器(4)的输入轴端轴连接，所述输入端传感器(8)设于所述输入定位盘(5)，用于监测所述输入定位盘(5)的转数，所述驱动马达(6)与所述输入定位盘(5)轴连接，用于驱动所述输入定位盘(5)转动。
2.如权利要求1所述的转盘的精确定位和步进机构，其特征在于，还包括输出定位盘(3)，所述连接轴(2)与所述减速器(4)之间连接有可同轴转动的所述输出定位盘(3)。
3.如权利要求2所述的转盘的精确定位和步进机构，其特征在于，还包括输出端传感器(7)，所述输出端传感器(7)设于所述输出定位盘(3)，用于监测所述输出定位盘(3)的转数。
4.如权利要求1所述的转盘的精确定位和步进机构，其特征在于，所述转盘(1)上均匀布置多个工装定位槽(9)。
5.一种石英晶体谐振器系统，其特征在于，包括真空腔室(10)、真空计(11)、腔室支架(12)以及权利要求1-4中任意一项所述的转盘的精确定位和步进机构，所述真空腔室(10)设于所述腔室支架(12)上，所述转盘的精确定位和步进机构设于所述真空腔室(10)内，真空计(11)用于测量所述真空腔室(10)内的真空度。
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