[实用新型]新型晶圆检查台宏观照明装置

说明书

本实用新型公开了一种新型晶圆检查台宏观照明装置，其包括：通过安装支架而布置于晶圆检查台前侧、后侧的第一、第二宏观照明光纤；LED灯光源，其连接于第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤；聚光镜，其分别设置于第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤的头部顶端；安装支架设置有对接夹持块，对接夹持块包括：设置于安装支架竖向部的第一夹持件，其设置有第一半圆孔；与第一夹持件可拆卸连接的第二夹持件，其设置有第二半圆孔，第一半圆孔、第二半圆孔共同构成照明光线夹持孔。照明光纤可以通过可拆卸的对接夹持块进行固定或者拆卸，提高了照明光纤安装的便捷性。

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，尤其是涉及一种新型晶圆检查台宏观照明装置。

背景技术

公开号为CN206361420U的一种晶圆检查台宏观照明装置，包括：第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤，分别设置于所述晶圆检查台的两侧；LED灯光源，连接于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤；聚光镜，分别设置于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤的头部顶端。本实用新型提出的晶圆检查台宏观照明装置，能够为晶圆检查提供照明，改善了宏观检查的质量和效率。然而，分别设置于晶圆检查台两侧的第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤需要竖向支撑杆配合固定块进行安装，固定块的安装方式造成前期安装不便以及后期的维护不便。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了解决上述问题，提供一种新型晶圆检查台宏观照明装置，其安装方便，也便于后期的维护或者更换。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种新型晶圆检查台宏观照明装置，其包括：通过安装支架而布置于晶圆检查台前侧的第一宏观照明光纤；通过安装支架而布置于晶圆检查台后侧的和第二宏观照明光纤；LED灯光源，其连接于第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤；聚光镜，其分别设置于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤的头部顶端；所述安装支架设置有对接夹持块，所述对接夹持块包括：设置于安装支架竖向部的第一夹持件，其设置有第一半圆孔；与第一夹持件可拆卸连接的第二夹持件，其设置有第二半圆孔，所述第一半圆孔、第二半圆孔共同构成照明光线夹持孔。

进一步，所述第一夹持件、第二夹持件通过螺栓配合螺母进行连接。

进一步，所述第一夹持件与第二夹持件配合的对接面设置有磁铁吸附块，所述第二夹持件设置有与磁铁吸附块配合的铁块。

进一步，所述第一夹持件通过轴承组件而可转动地安装于安装支架竖向部。

本实用新型具有如下有益效果：照明光纤可以通过可拆卸的对接夹持块进行固定或者拆卸，提高了照明光纤安装的便捷性，后期维护更换照明光纤只需打开对接夹持块即可取出久照明光纤而重新安装新的照明光纤。

附图说明

图1为本实用新型第一实施方式中新型晶圆检查台宏观照明装置示意图；

图2为本实用新型第一实施方式中对接夹持块示意图；

图3为本实用新型第二实施方式中对接夹持块示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。

本实用新型的第一实施方式提供了一种新型晶圆检查台宏观照明装置，参见图1，其包括：通过安装支架T而布置于晶圆检查台1前侧的第一宏观照明光纤2；通过安装支架T而布置于晶圆检查台1后侧的和第二宏观照明光纤3；LED灯光源4，其连接于第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤；聚光镜5，其分别设置于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤的头部顶端。前述结构可参见公开号为CN206361420U的实用新型专利。