[实用新型]一种多光轴平行性校正仪

权利要求书

1.一种多光轴平行性校正仪，包括校正装置和显示控制柜，所述校正装置和显示控制柜相连，其特征在于：所述校正装置包括从左至右依次设置在光学平台上的光轴扩展装置、靶板与光源切换台、观察成像及光轴测量装置和离轴大口径平行光管，所述校正装置外部设置有铝合金保护套，所述靶板与光源切换台包括程控转靶、程控光源、程控微调机构、1064激光光源、可见指示光源、激光靶和焦面遮挡屏，所述程控微调机构包括程控平移微调机构和程控升降微调机构，所述程控转靶和程控光源固定连接且设置在程控微调机构上方，所述激光靶设置在程控光源的一侧，所述1064激光光源和可见指示激光光源设置在程控转靶的一侧，所述程控光源为红外、可见一体化光源，所述焦面遮挡屏与转靶相对设置，所述焦面遮挡屏设置有一个Φ30的透光孔，所述1064激光光源、可见指示光源前方设置有挡光板，所述挡光板与焦面遮挡屏的透光孔相对设置。

2.根据权利要求1所述的一种多光轴平行性校正仪，其特征在于：所述程控转靶包括小孔靶板、四杆靶、多孔靶和十字靶。

3.根据权利要求1所述的一种多光轴平行性校正仪，其特征在于：所述离轴大口径平行光管包括离轴抛物面反光镜和次反射镜，所述离轴抛物面反光镜的外形尺寸为Φ320mmX45mm，有效光学口径为Φ300mm，母抛物面焦距为2500mm±25mm，离轴量为350mm，面形误差为RMS≤0.05λ(λ＝0.6328μm)，PV≤0.25λ(λ＝0.6328μm)。

4.根据权利要求1所述的一种多光轴平行性校正仪，其特征在于：所述观察成像与光轴测量装置设置在离轴抛物面反光镜的出射光路中，所述观察成像与光轴测量装置包括成像透镜和摄像CCD，所述成像透镜焦距为500mm，光学口径为Φ45mm，CCD的像素为500万。

5.根据权利要求1所述的一种多光轴平行性校正仪，其特征在于：所述光轴扩转装置包括斜方反射棱镜组和调整机构，所述调整机构包括X直线导轨、Y直线导轨和Z旋转导轨和锁紧机构，所述斜方反射棱镜组设置在调整机构上方，所述斜方反射棱镜组的入光口和出光口分别对准被测产品的出射光口和平行光管的入射光口。