[实用新型]一种硅片加热扩散炉有效
| 申请号： | 201721467033.2 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN207596995U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 赵阿强 | 申请（专利权）人： | 重庆长捷电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/02 | 分类号： | C30B31/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 贾庆 |
| 地址： | 409100 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 炉口 炉尾 炉管 本实用新型 炉体 控制柜 扩散炉 石棉垫 石棉圈 体内 散热 硅片 炉门 加热 多根炉管 横向装设 加热元件 实时监控 温度过高 影响产品 变形的 不一致 控制炉 石英层 保温 保证 | ||
1.一种硅片加热扩散炉，其特征在于：包括炉体(1)和设置于炉体(1)内的多根炉管(2)，所述炉体(1)上设有控制柜(3)，所述炉管(2)相互间隔的横向装设于所述炉体(1)内，且炉管(2)的两端设为炉口(2a)和炉尾(2b)，且所述炉口(2a)和炉尾(2b)于所述炉体(1)上设有炉门(4)，所述炉管(2)的炉口(2a)、炉尾(2b)和炉管(2)的中部分别设有加热元件(5)，所述炉管(2)内设有石英层(6)，且炉管(2)的炉口(2a)和炉尾(2b)的外表面分别套设有石棉垫(7)和石棉圈(8)，所述控制柜(3)实时监控和控制炉体(1)内的温度。
2.如权利要求1所述的一种硅片加热扩散炉，其特征在于：所述炉管(2)连接有氮气管(9)，用于向炉管(2)内注入氮气防止硅片出现氧化的情况。
3.如权利要求1所述的一种硅片加热扩散炉，其特征在于：所述控制柜(3)通过控制系统控制，且所述控制系统连接有电源模块、加热模块、温控模块、温度补偿模块和气流控制模块，所述加热模块通过控制系统控制其对炉管(2)加热升温，并可温度补偿模块进行补偿加热调节炉管(2)内温度的稳定性，所述气流控制模块用于控制进入炉管(2)内的气流大小。
4.如权利要求3所述的一种硅片加热扩散炉，其特征在于：所述炉管(2)的炉口(2a)、炉尾(2b)和炉管(2)的中部均设有温控模块，用于监控三点温度的一致性。
5.如权利要求1所述的一种硅片加热扩散炉，其特征在于：所述石棉垫(7)和石棉圈(8)套设于所述炉口(2a)和炉尾(2b)上，且所述石棉圈(8)上设有拉手(8a)，以便于安装和拆卸。
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