[实用新型]一种TFT-LCD线彩色滤光片蚀刻机传送罗拉

说明书

本实用新型是一种TFT‑LCD线彩色滤光片蚀刻机传送罗拉，其结构包括传送罗拉、传送辊轴、第一O型圈、第二O型圈和第三O型圈；所述传送罗拉外表面有沟槽，第一O型圈安装于A沟槽内，传送罗拉通过O型圈与玻璃基板连接；所述传送罗拉内表面有B沟槽和C沟槽，第二O型圈、第三O型圈分别安装于B沟槽、C沟槽内，传送罗拉通过第二O型圈和第三O型圈固定在传送辊轴上。优点：1.玻璃基板传送稳定，产品品质、产量和良率都有所提高。2.经久耐用，使用周期长，节约备件更换成本，提高设备稼动率。3.更换方便、快捷和省时，节省人力成本。4.降低返修率，减少生产成本。

技术领域

本实用新型涉及的是一种TFT-LCD线彩色滤光片蚀刻机传送罗拉，属于半导体工艺技术领域。

背景技术

TFT-LCD六代线彩色滤光片蚀刻机的蚀刻单元（共3个单元）内部安装有传送辊轴和上、下喷嘴，其中每个单元有25根传送辊轴，每根传送辊轴上有8只传送罗拉，传送辊轴通过两端的轴承安装在轴承座里，驱动马达通过齿轮驱动传动齿轮旋转，从而使传送辊轴和传送罗拉一起旋转，对玻璃基板进行传送。

传送罗拉1通过PVC胀紧套固定在传送辊轴上，使传送辊轴和传送罗拉一起旋转，从而达到传送玻璃基板的目的。

蚀刻设备启动后，蚀刻单元内的上、下喷嘴就保持喷洒蚀刻液状态，并将蚀刻液喷洒到传送到位的玻璃基板上下表面，使传送罗拉和PVC胀紧套一直处于一定温度的蚀刻液中，长期流片生产，就会造成以下后果：

1、PVC胀紧套易老化、碎裂，使传送罗拉不能固定在传送辊轴上，不能够有效传送玻璃基板。

2、传送罗拉易磨损，使用周期短，更换频繁，备件成本高。

3、传送罗拉拆装不方便，更换困难，更换时间时间长，降低了设备稼动率。

4、传送罗拉在玻璃基板上产生轮痕，影响产品品质和良率。

5、产品品质不良，需要返修，增加了生产成本。

6、传送罗拉需要定期清洁，增加了维护成本，也降低了设备稼动率。

发明内容

本实用新型提出的是一种TFT-LCD线彩色滤光片蚀刻机传送罗拉，旨在解决TFT-LCD六代线彩色滤光片蚀刻机蚀刻单元内传送罗拉易磨损、使用时间短；更换麻烦、维修时间长；罗拉固定胀紧套易老化、易碎裂；容易产生罗拉痕、影响产品品质等缺点。

本实用新型提出的是一种TFT-LCD线彩色滤光片蚀刻机传送罗拉，其结构包括传送罗拉1、传送辊轴2、第一O型圈3、第二O型圈4和第三O型圈5；所述传送罗拉1外表面有A沟槽，第一O型圈3安装于A沟槽内，传送罗拉1通过O型圈3与玻璃基板连接；所述传送罗拉1内表面有B沟槽和C沟槽，第二O型圈4、第三O型圈5分别安装于B沟槽、C沟槽内，传送罗拉1通过第二O型圈4和第三O型圈5与传送辊轴2连接。

本实用新型的优点：

1.玻璃基板传送稳定，产品品质、产量和良率都有所提高。

2.经久耐用，使用周期长，节约备件更换成本，提高设备稼动率。

3.更换方便、快捷和省时，节省人力成本。

4.降低返修率，减少生产成本。

附图说明

附图1是一种TFT-LCD线彩色滤光片蚀刻机传送罗拉结构示意图。

图中，1是传送罗拉，2是传送辊轴，3是第一O型圈，4是第二O型圈，5是第三O型圈。

具体实施方式