[实用新型]用于产生等离子体的天线结构体

说明书

本实用新型的用于产生等离子体的天线结构体包含包含位于第一平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与第一方向平行，而另一端部与第二方向平行的第一角部天线导线、从第一角部天线导线的一端部向第二平面延伸形成的第二角部天线导线、从第二角部天线导线延伸且位于第二平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与第一方向平行，而另一端部与第二方向平行的第三角部天线导线、从第三角部天线导线的另一端部向第一平面延伸形成的第四角部天线导线及从第四角部天线导线延伸且以与第一角部天线导线相隔的状态位于第一平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与第一方向平行，而另一端部与第二方向平行的第五角部天线导线的角部天线部。

技术领域

本实用新型涉及一种用于产生等离子体的天线结构体，特别是生成等离子体并对显示面板等的基板实施处理时所使用的用于产生等离子体的天线结构体。

背景技术

在使用等离子体对基板实施CVD、蚀刻等处理的装置中，比较多地使用对包含天线的装置施加高频电力，从而在天线周围形成感应电场并产生等离子体的方式。

另一方面，随着处理的基板的大型化，处理装置也逐渐大型化，为了对大型化的基板实施均匀的处理，使用具有多个天线的基板处理装置渐渐变得普遍。

当具有多个天线的情况下，由于天线的阻抗不均衡或处理装置内的环境问题，可能会导致被施加到各天线的高频电力互不相同，以至等离子体在各区域不均匀地生成，即使被施加到各天线的高频电力几乎相同，也会由于处理装置内的环境问题等，而导致等离子体不均匀地生成或导致对基板的处理不均匀。

实用新型内容

所要解决的技术问题

本实用新型的目的在于，提供一种能够生成更加均匀的等离子体的用于产生等离子体的天线结构体。

本实用新型的目的不限于上述提及的目的，本领域技术人员可通过下面的记载明确地理解没有提及的其他目的。

解决技术问题的方案

为解决上述技术问题，本实用新型的实施例中的用于产生等离子体的天线结构体包括角部天线部，所述角部天线部包括：第一角部天线导线，位于第一平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与第一方向平行，而另一端部与第二方向平行；第二角部天线导线，从所述第一角部天线导线的一端部向第二平面延伸形成；第三角部天线导线，从所述第二角部天线导线延伸且位于所述第二平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与所述第一方向平行，而另一端部与所述第二方向平行；第四角部天线导线，从所述第三角部天线导线的另一端部向所述第一平面延伸形成；第五角部天线导线，从所述第四角部天线导线延伸且以与所述第一角部天线导线相隔的状态位于所述第一平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与所述第一方向平行，而另一端部与所述第二方向平行。

所述第三角部天线导线可以在所述第五角部天线导线的上部折曲地形成。

所述第三角部天线导线的一端部可以形成为比所述第一角部天线导线的一端部长。

所述第一角部天线导线的一端部可以与所述第三角部天线导线的一端部重叠。

所述第三角部天线导线的另一端部可以以与所述第一角部天线导线的另一端部同样的长度形成。

所述第三角部天线导线的另一端部可以与所述第五角部天线导线的另一端部重叠。

还可以包含与所述第一方向或所述第二方向平行配置的外侧边天线部，所述外侧边天线部由外侧边天线导线在两个相互平行的平面之间连续垂直地折曲形成。

所述外侧边天线部的两侧可以各自配置有所述角部天线部。

所述外侧边天线部可以包含与所述第一方向平行配置的第一外侧边天线部及与所述第二方向平行配置的第二外侧边天线部，所述第一外侧边天线部的第一方向长度可以比所述第二外侧边天线部的所述第二方向长度短。