[实用新型]MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置

说明书

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置，本实用新型的MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置，无需人工进行清理，高效方便。无需开起腔体就能对进出料腔进行吸尘，节省时间，不会引起扬尘导致生产环境的污染，减少对人体的危害。可定时清理进出料腔体内部环境，减少粉尘对硅片表面的污染，改善良率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置。

背景技术

目前MAIA背镀机台进出料腔出料腔氮化硅粉尘较多，若不按时有效的清理腔体内部粉尘易导致硅片表面被腔体内粉尘污染，影响良率。进出料腔未有自动清理装置，必需停止工艺后开腔进行吸尘，耗时较长影响产量，人工清理效率偏低。人工清理进出料腔时，容易扬尘，污染生产环境，对人体有害。目前MAIA背镀机台进出料腔需要开腔进行人工吸尘处理。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了解决现有技术中进出料腔必需停止工艺后开腔进行吸尘，耗时较长影响产量，人工清理效率偏低的技术问题，本实用新型提供一种MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置，包括吸尘管道以及设置在料腔内的上吸盘和下吸盘，上吸盘的吸尘口朝向料腔内的上表面，下吸盘的吸尘口朝向料腔内的下表面，上吸盘和下吸盘的背面固定连接且均和吸尘管道的一端相连通，吸尘管道的另一端连接有吸尘装置，料腔上设置有能够穿过吸尘管道的安装孔。本实用新型通过在料腔内设置了吸尘装置能够自动清理料腔内的灰尘，无需人工，方便高效。

为了能够将整个料腔内都清理到位，所述吸尘管道为可伸缩管道。

进一步，具体地，所述吸尘管道为双层管道，外层为套缩式管道，内层为布制管道，布制管道的长度和套缩式管道的最大伸长量的长度一致。

为了便于及时清理灰尘，所述吸尘装置内设置有可更换的集尘盒。

本实用新型的有益效果是，本实用新型的MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置，无需人工进行清理，高效方便。无需开起腔体就能对进出料腔进行吸尘，节省时间，不会引起扬尘导致生产环境的污染，减少对人体的危害。可定时清理进出料腔体内部环境，减少粉尘对硅片表面的污染，改善良率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型最优实施例的结构示意图。

图中：1、料腔，2、上吸盘，3、下吸盘，4、吸尘管道，5、吸尘装置。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示，是本实用新型最优实施例，一种MAIA背镀机台进出料腔1自动清理装置，包括吸尘管道4以及设置在料腔1内的上吸盘2和下吸盘3，上吸盘2的吸尘口朝向料腔1内的上表面，下吸盘3的吸尘口朝向料腔1内的下表面，上吸盘2和下吸盘3的背面固定连接且均和吸尘管道4的一端相连通，吸尘管道4的另一端连接有吸尘装置5，料腔1上设置有能够穿过吸尘管道4的安装孔。吸尘管道4为可伸缩管道。吸尘管道4为双层管道，外层为套缩式管道，内层为布制管道，布制管道的长度和套缩式管道的最大伸长量的长度一致。吸尘装置5内设置有可更换的集尘盒。吸尘管道4的伸缩可以通过在料腔1侧壁上设置一条沿长度方向的直线轨道，直线轨道上设置有滑块，滑块和上吸盘2或者下吸盘3通过连杆连接。