[实用新型]排气设备

权利要求书

1.一种排气设备，其特征在于，包括：

第一导流板；

第二导流板，与所述第一导流板间隔设置，形成第一排气通道；

所述第一排气通道的始端，用于与气体发生设备连通；且所述第一排气通道的末端与外界连通；

在所述第一导流板和所述第二导流板的至少其中之一设置有与外界连通的排气孔，且所述排气孔位于所述第一排气通道的回流区。

2.根据权利要求1所述的排气设备，其特征在于，

所述排气设备还包括：

第三导流板，与所述第二导流板之间形成有第二排气通道；所述第二排气通道的末端与外界连通。

3.根据权利要求2所述的排气设备，其特征在于，

所述第二排气通道的始端，用于与气体发生设备连通；

和/或，

所述第三导流板上设置有位于回流区且与外界连通的排气孔。

4.根据权利要求2所述的排气设备，其特征在于，

所述第二排气通道的始端密封；

所述第二导流板上的排气孔，用于有连通所述第一排气通道和第二排气通道。

5.根据权利要求2所述的排气设备，其特征在于，

所述第二排气通道末端处的所述第二导流板或第三导流板向所述第二排气通道的中间位置弯折。

6.根据权利要求1至5任一项所述的排气设备，其特征在于，

所述回流区包括：排气通道的横截面积的变化率大于第一预设值的区域；

和/或，

所述回流区包括：导流板的曲率大于第二预设值的区域；

和/或，

所述回流区包括：导流板的弯折角度大于第三预设值的区域。

7.根据权利要求6所述的排气设备，其特征在于，

所述排气孔的个数为多个，且所述排气的气孔尺寸相同；

所述排气孔的分布密度与所述排气通道的横截面积的变化率正相关；和/或，所述排气孔的分布密度与所述导流板的曲率正相关；和/或，所述排气孔的分布密度与所述导流板的弯折角度正相关。

8.根据权利要求6所述的排气设备，其特征在于，

所述排气孔的个数为多个；

所述导流板上单位面积内的排气孔占用的面积，与所述排气通道的横截面积的变化率正相关；和/或，所述导流板上单位面积内的排气孔占用的面积，与所述导流板的曲率正相关；和/或，所述导流板上单位面积内的排气孔占用的面积，与所述导流板的弯折角度正相关。

9.根据权利要求1至5任一项所述的排气设备，其特征在于，

所述排气孔为圆形孔、方形孔、条状孔或网状分布的网状孔。

10.根据权利要求2至5任一项所述的排气设备，其特征在于，

所述第一排气通道末端处的所述第一导流板或第二导流板向所述第二排气通道的中间位置弯折。