[实用新型]一种保护气氛离子液体镀前处理设备

权利要求书

1.一种保护气氛离子液体镀前处理设备，其特征在于：包括装有惰性气体的气瓶(1)，第一阀门(3)，露点仪(5)，氧探头(6)，第一压力表(7)，密封前处理液的箱体(8)，第二过渡仓(11)，净化柱(12)，循环泵(13)，真空泵(21)，第二阀门(24)，第一仓门(26)，第二压力表(28)，第一过渡仓(29)，第二仓门(30)；

所述气瓶(1)出口与第一阀门(3)的第一端口连接，在密封前处理液的箱体(8)上方分别装有露点仪(5)，氧探头(6)，第一压力表(7)；

密封前处理液的箱体(8)左侧装有连接第二压力表(28)的第一过渡仓(29)，第一过渡仓(29)水平方向开有第一仓门(26)和连接密封前处理液的箱体(8)的第二仓门(30)；第一阀门(3)的第二端口连接密封前处理液的箱体(8)，第一阀门(3)的第三端口连接第一过渡仓(29)，第二阀门(24)的第一端口连接第一过渡仓(29)，第二阀门(24)的第二端口连接真空泵(21)，第二阀门(24)的第三端口连接密封前处理液的箱体(8)，循环泵(13)的第一端口与密封前处理液的箱体(8)连接，循环泵(13)的第二端口经净化柱(12)与密封前处理液的箱体(8)连接；

密封前处理液的箱体(8)右侧装有第二过渡仓(11)，第二过渡仓(29)水平方向两侧分别开有连接保护气氛离子液体镀设备(10)的右仓门和连接密封前处理液的箱体(8)的左仓门。

2.根据权利要求1所述的一种保护气氛离子液体镀前处理设备，其特征在于：所述密封前处理液的箱体(8)下端内侧面设有冷凝盘管(31)，密封前处理液的箱体(8)底面从左至右依次设有超声脱脂槽(20)，超声酸洗槽(19)，漂洗槽，安装有加热棒(14)的蒸发槽(15)，蒸发槽(15)与漂洗槽的溢流槽(32)连通，密封前处理液的箱体(8)沿长度方向的一个侧面的三个孔内分别装有密封手套(36)。

3.根据权利要求1所述的一种保护气氛离子液体镀前处理设备，其特征在于：所述第一阀门(3)和第二阀门(24)均为三通阀。

4.根据权利要求2所述的一种保护气氛离子液体镀前处理设备，其特征在于：所述漂洗槽用第一隔板(33)和第二隔板(34)分隔为三个槽，从左至右依次为第一漂洗槽(18)、第二漂洗槽(17)和第三漂洗槽(16)，第一隔板(33)的高度要小于第二隔板(34)的高度，蒸发槽(15)与第一漂洗槽(18)的溢流槽(32)连通。