[实用新型]一种真空镀膜辅助换靶设备

权利要求书

1.一种真空镀膜辅助换靶设备，包括导轨（1）、移动钢板（2）、钢索（3）和抓钩（4），所述导轨（1）内部设置有导轨槽（5），所述导轨槽（5）内侧连接有移动钢板（2），所述导轨（1）下端设置有钢索（3），所述抓钩（4）连接于钢索（3）下端，其特征在于：所述导轨（1）下端分别连接有一号电机（7）和二号电机（10），所述一号电机（7）设置于二号电机（10）上端，所述一号电机（7）和二号电机（10）一端均连接有转动轴（8），所述转动轴（8）一端连接有轴承（18），所述一号电机（7）通过轴承（18）与移动钢板（2）滑动连接，所述二号电机（10）通过转动轴（8）与钢索（3）连接，所述抓钩（4）上端连接有伸缩轴（15），所述抓钩（4）通过伸缩轴（15）与钢索（3）连接，所述导轨（1）下端固定连接有抽风机（12）。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜辅助换靶设备，其特征在于：所述一号电机（7）一端通过转动轴（8）连接有齿轮（9），所述齿轮（9）一端连接有链条（11），所述链条（11）设置于导轨槽（5）内部。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜辅助换靶设备，其特征在于：所述抽风机（12）两端均设置有抽风口（13），所述抽风机（12）下端连接有集尘箱（14）。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜辅助换靶设备，其特征在于：所述导轨（1）上端设置有安装槽（6），所述伸缩轴（15）一端连接有转轴（16），所述伸缩轴（15）通过转轴（16）与抓钩（4）活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜辅助换靶设备，其特征在于：所述抓钩（4）下端连接有限位齿（19），所述限位齿（19）一端设置有减震弹簧（17）且限位齿（19）通过减震弹簧（17）与抓钩（4）连接。