[实用新型]单晶炉石英坩埚的升降装置

说明书

本实用新型公开了一种能够对单晶炉内石英坩埚在竖直方向上的高度可以调节的单晶炉石英坩埚的升降装置。该单晶炉石英坩埚的升降装置，包括坩埚托盘；所述坩埚托盘下方设置有拖杆；所述拖杆穿过单晶炉的底部；所述单晶炉下方设置有坩埚旋转系统；所述拖杆与坩埚旋转系统传动连接；所述单晶炉内腔底部设置有环形凸台；所述环形凸台的内圈内设置有与环形凸台螺纹配合的旋转套；所述旋转套与坩埚托盘通过离合器连接；所述拖杆上设置有离合器的控制装置。采用该单晶炉石英坩埚的升降装置，便于单晶炉内单晶硅的取出，便于对设备的安装调试。

技术领域

本实用新型涉单晶炉内的坩埚技术改进，尤其是一种单晶炉石英坩埚的升降装置。

背景技术

众所周知的：石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。尤其是生产单晶硅的单晶炉中的重要部件。然而现有的单晶炉中，石英坩埚固定安装在单晶炉内，石英坩埚在竖直方向上的高度无法进行调节；因此当石英坩埚内液体较少时，析出的单晶硅位于单晶炉内较低的位置，造成单晶硅的取出困难。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够对单晶炉内石英坩埚在竖直方向上的高度可以调节的单晶炉石英坩埚的升降装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：单晶炉石英坩埚的升降装置，所述单晶炉内腔的内壁上设置有保温罩；所述单晶炉的内腔内设置有石英坩埚；石英坩埚的升降装置包括坩埚托盘；所述坩埚托盘下方设置有拖杆；所述拖杆穿过单晶炉的底部；所述单晶炉下方设置有坩埚旋转系统；所述拖杆与坩埚旋转系统传动连接；

所述单晶炉内腔底部设置有环形凸台；所述环形凸台的内圈内设置有与环形凸台螺纹配合的旋转套；所述旋转套与坩埚托盘通过离合器连接；所述拖杆穿过旋转套；所述拖杆设置有中心孔；所述中心孔内设置有拉杆，所述拉杆的一端与中心孔的底部之间设置有第一弹簧，且拉杆的一端设置有延伸出拖杆，可以沿拖杆轴线上下滑动的滑杆；

所述拉杆的另一端设置有延伸出拖杆，且可以沿拖杆轴线上下滑动的压杆；所述压杆上设置有与离合器接触的顶杆。

进一步的，所述旋转套与单晶炉内腔底部之间设置有第二弹簧；所述第二弹簧位于环形凸台内。

进一步的，所述第二弹簧与旋转套之间设置有垫片。

进一步的，所述拖杆与单晶炉底部之间设置有拖杆套。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的单晶炉石英坩埚的升降装置由于在单晶炉底部设置环形凸台，在环形凸台内设置旋转套，旋转套与坩埚托盘通过离合器连接；从而使得可以通过控制离合器的开合，利用单晶炉本身具有的坩埚旋转系统，实现石英坩埚在单晶炉内在竖直方向上的位置调节。从而便于单晶炉内单晶硅的取出，便于对设备的安装调试。

附图说明

图1为本实用新型实施例中单晶炉石英坩埚的升降装置的结构示意图；

图中标示：1-单晶炉，2-保温罩，3-石英坩埚，4-坩埚托盘，5-拖杆，6-旋转套，7-环形凸台，8-第二弹簧，9-垫片，10-离合器，11-拉杆，12-压杆，13-拖杆套，14-第一弹簧，15-坩埚旋转系统，16-滑杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

如图1所示，本实用新型所述的单晶炉石英坩埚的升降装置，设置在单晶炉1内，所述单晶炉1内腔的内壁上设置有保温罩2；所述单晶炉1的内腔内设置有石英坩埚3；其特征在于：石英坩埚的升降装置包括坩埚托盘4；所述坩埚托盘4下方设置有拖杆5；所述拖杆5穿过单晶炉1的底部；所述单晶炉1下方设置有坩埚旋转系统15；所述拖杆5与坩埚旋转系统15传动连接；