[实用新型]一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具

权利要求书

1.一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具，包括刀具固定螺栓（1），其特征在于：所述刀具固定螺栓（1）的一侧设置有刀具固定螺母（2），所述刀具固定螺栓（1）的一端设置有固定板（5），所述刀具固定螺母（2）的一侧设置有夹块（3），所述夹块（3）的一侧设置有刀具（4），所述固定板（5）的一侧设置有转轴（6），所述转轴（6）的一端设置有转动装置（7），所述转动装置（7）的一端设置有刀具转动轴（8），所述刀具转动轴（8）的一端设置有支架（9），所述支架（9）的一端设置有固定螺栓（11），所述固定螺栓（11）的下侧设置有支架转动轴（10），所述支架转动轴（10）的下方设置有底座（12），所述刀具固定螺栓（1）的内部设置有弹簧（13），所述弹簧（13）的一端设置有缓冲块（14），所述缓冲块（14）的一侧设置有固定孔（15）。

2.根据权利要求1所述的一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具，其特征在于：所述夹块（3）设计为等边三角形。

3.根据权利要求1所述的一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具，其特征在于：所述弹簧（13）与刀具固定螺栓（1）通过螺钉进行固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具，其特征在于：所述夹块（3）与刀具（4）上均设置有三个固定孔（15），且三个固定孔（15）成等边三角形排列在夹块（3）与刀具（4）上。

5.根据权利要求1所述的一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具，其特征在于：所述弹簧（13）与缓冲块（14）通过螺钉进行固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具，其特征在于：所述刀具固定螺栓（1）与固定板（5）设计为一体结构。