[实用新型]一种蒸镀组件

说明书

本实用新型涉及OLED蒸镀技术领域，具体公开了一种蒸镀组件，包括蒸镀腔体和设置在腔体内的加热槽，所述加热槽内安装有坩埚，所述加热槽与坩埚之间还设置有挡板单元，本实用新型通过设置挡板单元遮挡住加热槽与坩埚之间缝隙，有效防止有机材料沉积在缝隙，使得腔体的内部洁净度更高，制备OLED器件的性能更稳定，且挡板单元能够随时拆卸清洗与安装，循环利用率高，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及OLED蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀组件。

背景技术

目前，有机发光二极管(OLED，Organic Light-Emitting Diode)的主流制备工艺是蒸镀技术，蒸镀技术主要是利用热蒸发有机材料的原理，把有机材料填入蒸镀组件中，在真空环境中，升温加热，使固体有机材料熔融挥发或者升华形成气态，有机材料的气体流沉积到玻璃基板上，形成一层层的有机薄膜，从而制备成OLED器件。

现有的蒸镀设备包括蒸镀组件，蒸镀组件中包括腔体（Chamber）和用于盛放有机材料的坩埚，在蒸镀时，现有腔体内设置的挡板无法遮挡住坩埚周边的缝隙，从而导致坩埚周边的有机材料掉落在缝隙深处，使用吸尘器等手段都无法清洁到位，致使腔体内室被污染；还有可能导致掉落后的有机材料靠近坩埚底部加热丝附件，当加热丝被加热时，；累积到附近的有机材料会熔融挥发或者升华形成气态，被蒸镀到基板上，从而导致OLED器件蒸镀失败。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种能够有效防止有机材料沉积在加热槽与坩埚之间缝隙、提高OLED器件制备稳定性的蒸镀组件。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的具体方案如下：一种蒸镀组件，包括蒸镀腔体和设置在腔体内的加热槽，所述加热槽内安装有坩埚，所述加热槽与坩埚之间还设置有挡板单元。

优选的，所述挡板单元的顶部设有外边缘，底部向内翻折有凹槽，外边缘便于人手取出挡板单元，凹槽用于接住掉落在缝隙中的有机材料。

优选的，所述挡板单元是N个，所述N为大于等于2的正整数，N个挡板单元拼合组成盆体，根据加热槽与坩埚之间缝隙的大小调整挡板单元的数量，便于拆卸与安装。

优选的，所述凹槽的深度为2~5厘米，根据制备过程中有机材料的增加而加深。

优选的，所述凹槽为V型凹槽，即凹槽的左右两壁具有倾斜度，便于有机材料掉落在凹槽底部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过设置挡板单元遮挡住加热槽与坩埚之间缝隙，有效防止有机材料沉积在缝隙，使得腔体的内部洁净度更高，制备OLED器件的性能更稳定；且挡板单元能够随时拆卸清洗与安装，循环利用率高，使用方便；挡板单元底部的凹槽深度能够根据实际制备过程中有机材料的增加而加深，使用灵活性大。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2和图3为本实用新型的挡板单元结构示意图；

其中，1为加热槽；2为坩埚；3为挡板单元；4为外边缘；5为凹槽。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的阐述。

如图1~3所示，一种蒸镀组件，包括腔体和设置在腔体内的加热槽，所述加热槽内安装有坩埚，所述加热槽与坩埚之间还设置有挡板单元，本实施例的挡板单元的顶部设有外边缘，底部向内翻折有凹槽，外边缘便于人手取出挡板单元，凹槽用于接住掉落在缝隙中的有机材料，凹槽的深度为2~5厘米，根据制备过程中有机材料的增加而加深。