[实用新型]超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统

权利要求书

1.一种超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统，其特征是包括混酸槽，混酸槽上端通过管路与制冷机组相连，混酸槽内设置有热交换器，混酸槽下端通过管路与酸液输送泵相连，酸液输送泵通过管路与过滤器相连，过滤器通过管路与超导腔下端和超纯水水泵相连，超纯水水泵通过管路与超纯水水箱相连，超导腔上端通过管路分别与混酸槽上端和观察窗相连，高纯氮气罐通过管路与混酸槽与超导腔之间的管路相连。

2.如权利要求1所述的超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统，其特征在于：所述的抛光设备的混酸槽与制冷机组之间的管路上设置有冷水阀；混酸槽上设置有第二液位计探头和温度探头，所述的酸液输送泵与过滤器之间的管路上依次设置有流量计和供酸阀，酸液输送泵、第一搅拌阀和第二搅拌阀通过管路构成混酸槽的混酸循环回路；混酸槽上端与超导腔上端的管路上依次设置有第三隔离阀、回酸阀、压力传感器和第二隔离阀；所述的高纯氮气罐上端通过输出管路与压力传感器与第二隔离阀之间的管路相连，高纯氮气罐的输出管路上设置有气体高压阀和氮气控制阀；所述的观察窗上设置有第一液位计探头，观察窗下端与超导腔上端相连的管路上设置有液位控制阀，超导腔下端管路上设置有腔体进液阀，超导腔下端通过设置有第一隔离阀的管路接排放阀，超导腔上端通过设置有冲洗阀的管路接排放阀，冷却喷淋阀设置在超导腔上部的冷却管路上；所述的过滤器上端管路上设置有进酸阀，超纯水水泵前端的管路上设置有纯水阀；所述的回酸阀和第三隔离阀之间的管路通过管路接循环阀一端，循环阀另一端通过管路接第一搅拌阀和第一隔离阀之间。