[实用新型]高纯八氟环丁烷的制备装置

说明书

本实用新型公开了一种高纯八氟环丁烷的制备装置，包括原料储存罐、干燥器、预冷冷凝器、精馏塔体、主冷凝器、再沸器、产品储存罐、在线分析设备以及电控系统，原料储存罐与干燥器连通，干燥器与预冷冷凝器连通，预冷冷凝器与精馏塔体连通，精馏塔体分别与主冷凝器和再沸器连通，主冷凝器经第一阀门与精馏塔体的液相回流口连通，主冷凝器经第二阀门与产品储存罐连通，再沸器的气相出口与精馏塔体的气相回流口连通。在制作电子级八氟环丁烷的同时你，回收轻重组分。

技术领域

本实用新型涉及八氟环丁烷提纯领域，具体涉及一种高纯八氟环丁烷的制备装置。

背景技术

电子级八氟环丁烷用作半导体等生产工艺中的蚀刻或清洁气体，以便由CVD方法、溅射方法或气相淀积方法得到的薄膜或厚膜形成电路图案，还可以替代CFC-12的混合制冷剂、稳定无毒的药品气雾喷射剂、食品气雾喷射剂、介质气体。

随着电子或电气设备的性能更高、尺寸更小、缠绕密度更高的趋势、电路图案变的更细，和获得高精度的电路图案，对八氟环丁烷的纯度要求也越来越高。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种制备电子级八氟环丁烷的高纯八氟环丁烷的制备装置。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种高纯八氟环丁烷的制备装置，包括原料储存罐、干燥器、预冷冷凝器、精馏塔体、主冷凝器、再沸器、产品储存罐、在线分析设备以及电控系统，

所述原料储存罐与所述干燥器的气相入口连通；

所述干燥器的气相出口与所述预冷冷凝器的气相入口连通；

所述预冷冷凝器的液相出口与所述精馏塔体的液相入口连通；

所述精馏塔体的气相出口和液相出口分别与所述主冷凝器的气相入口和所述再沸器的液相出口连通；

所述主冷凝器的液相出口经第一阀门与所述精馏塔体的液相回流口连通，所述主冷凝器的液相出口还经第二阀门与所述产品储存罐连通；

所述再沸器的气相出口与所述精馏塔体的气相回流口连通；

所述在线分析设备设于所述主冷凝器的液相出口输出侧且设于所述第一，二阀门的输入侧；

所述电控系统的输入端与所述在线分析设备通讯，所述电控系统的输出端与所述第一，二阀门通讯。

上述技术方案中，所述主冷凝器设于所述精馏塔体顶部，所述再沸器设于所述精馏塔体底部。

上述技术方案中，所述精馏塔体的气相出口和液相回流口为同一端口，所述精馏塔体的液相出口和气相回流口为同一端口。

上述技术方案中，所述精馏塔体中的填料为金属丝网填料。

上述技术方案中，所述精馏塔体的液相入口下方和液相回流口下方均设有液体收集器，所述液体收集器的下方设有液体分布器。

上述技术方案中，所述液体收集器呈倒置锥筒状，其侧壁沿环向均布设有进气孔。

上述技术方案中，所述液体分布器包括底板、设于所述底板上的筒壁以及设于所述筒壁内侧并穿过所述底板的布水管，所述布水管的上端低于所述筒壁的上端，所述布水管的下端伸出所述底板的底部，所述布水管的下端面为朝向所述底板中心的斜坡面。

上述技术方案中，所述在线分析设备为工业色谱仪。

上述技术方案中，所述产品储存罐还设有放空出口，所述产品储存罐还设有液位计。

上述技术方案中，所述产品储存罐的出口通过低温液体泵连通钢瓶。

由于上述技术方案运用，本实用新型具有下列优点：