[实用新型]一种真空位移调节装置

说明书

本实用新型公开一种真空位移调节装置，用于调节真空腔内零件的位置，包括调整杆、母盘、转杆、子盘和第一动密封；第一动密封固定在真空腔的侧壁上；调整杆可旋转的穿过第一动密封，其顶端设有主动齿轮；母盘可旋转的安装在调整杆上；子盘由转杆支撑，转杆的一端连接母盘，另一端连接子盘；子盘上设有从动齿轮，从动齿轮与主动齿轮捏合。本实用新型的真空位移调节装置，母盘和子盘可单独转动，使得控制点可以到达预定区域的任何位置，满足不同工况的需求。

技术领域

本实用新型属于真空设备技术领域，尤其涉及一种可实现真空腔内零件位移的调节装置。

背景技术

使用真空设备时，从真空腔外部调节其内部的部件位置，需要解决动密封的问题。特别是在半导体技术领域和质谱仪器领域，腔内真空度很高，可以使用的动密封结构很少，导致真空腔内部部件位置调节困难。很多真空机械中，在真空腔室外部操纵真空腔内部的零件运动都很困难，密封技术的特点决定了要实现运动零件之间的密封难度很大，尤其是在无油密封需求的条件下。

现有的位移调节装置，仅通过单杆带动转盘旋转，只能使被调节部件运动到一个固定圆周上的任意一点，圆周以外的位置不能达到。在一些工况下，位移调节装置不能使被调节部件达到预定目标区域内任意位置。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型意在提出一种真空位移调节装置，母盘和子盘可单独转动，使得控制点可以到达由母盘和子盘组合运动覆盖过的空间区域的任何位置。

本实用新型提供一种真空位移调节装置，用于调节真空腔内零件的位置，其包括调整杆、母盘、转杆、子盘和第一动密封；

所述第一动密封固定在所述真空腔的侧壁上；所述调整杆可旋转的穿过所述第一动密封，其顶端设有主动齿轮；所述母盘可旋转的安装在所述调整杆上；

所述子盘由所述转杆支撑，所述转杆的一端连接所述母盘，另一端连接所述子盘；所述子盘上设有从动齿轮，所述从动齿轮与所述主动齿轮捏合。

作为本实用新型优选的实施方案，所述母盘上设有轴承孔；所述子盘的中心处固定所述转杆，所述转杆沿所述子盘轴线延伸，通过第一轴承可旋转的安装在所述母盘的轴承孔上。

在本实用新型的一些实施例中，所述调整杆包括母杆和子杆；

所述母杆为管状，设有子杆孔，可旋转的穿过所述第一动密封，所述母杆的顶端与所述母盘固定连接；

所述子杆套入所述母杆的子杆孔，顶端设有所述主动齿轮，底端延伸出所述真空腔外；

所述母杆与所述子杆之间设有第二动密封。

进一步的，所述第二动密封的数量为两个。

作为本实用新型优选的实施方案，真空位移调节装置还包括棘轮机构和推力轴承，所述棘轮机构包括相互配合的棘轮和棘爪；

所述母盘的中心处设有中心孔，所述棘轮安装在所述中心孔内，所述棘爪固定安装在所述调整杆上；

所述推力轴承安装在所述中心孔内，位于所述调整杆与母盘之间。

作为本实用新型优选的实施方案，还包括压紧套，所述母盘的中心处设有压紧套孔，所述压紧套位于所述压紧套孔内，所述调整杆穿过所述压紧套；所述母盘的底部固定有定位键，所述真空腔的内壁上固定有与所述定位键配合的定位卡槽。

在本实用新型的一些实施例中，所述转杆包括竖直部和倾斜部，所述竖直部与所述倾斜部固定连接；

所述竖直部的底端与母盘固定连接，所述子盘通过第二轴承可旋转的安装在所述倾斜部上。

更进一步的，所述调整杆与所述转杆的倾斜部之间的夹角为10～60°。