[实用新型]延迟装置及太赫兹时域光谱仪

权利要求书

1.一种延迟装置，包括底板、设于所述底板上用于产生探测光和泵浦光的光传输组件、设于所述底板上用于传输探测光的探测光组件以及用于传输泵浦光的泵浦光组件，其特征在于，所述泵浦光组件包括用于将泵浦光进行180°反转的直角反射镜及电磁感应组件，所述电磁感应组件包括线圈及设于所述底板上的磁铁，所述线圈位于所述磁铁内，所述直角反射镜设于所述线圈上并位于所述线圈远离所述磁铁的一侧。

2.根据权利要求1所述的延迟装置，其特征在于，所述泵浦光组件还包括设于所述底板上的光栅尺组件，所述光栅尺组件用于采集所述直角反射镜的位移信息，所述光栅尺组件包括光栅尺及设于所述底板的探测器，所述光栅尺设于所述直角反射镜上。

3.根据权利要求2所述的延迟装置，其特征在于，所述光栅尺设于所述直角反射镜的外表面，所述光栅尺与所述探测器平行设置。

4.根据权利要求1所述的延迟装置，其特征在于，所述泵浦光组件还包括第一可调反射镜及第二可调反射镜，所述第一可调反射镜设置于所述光传输组件的一侧，所述第二可调反射镜位于所述直角反射镜远离所述磁铁的一侧，泵浦光依次经过所述第一可调反射镜、所述直角反射镜及所述第二可调反射镜后射出。

5.根据权利要求4所述的延迟装置，其特征在于，所述泵浦光组件还包括第一光纤耦合器，泵浦光经过所述第二可调反射镜后并经过所述第一光纤耦合器射出。

6.根据权利要求1所述的延迟装置，其特征在于，所述探测光组件包括第三可调反射镜，探测光经过所述第三可调反射镜反射后射出。

7.根据权利要求6所述的延迟装置，其特征在于，所述探测光组件还包括第二光纤耦合器，探测光经过所述第三可调反射镜后并经过所述第二光纤耦合器射出。

8.根据权利要求1-7任一项所述的延迟装置，其特征在于，所述光传输组件包括设于所述底板上的接口、对光进行偏振处理的偏振件及用于将激光分成探测光及泵浦光的分光片，激光依次经过所述接口到所述偏振件，并到所述分光片分光。

9.一种太赫兹时域光谱仪，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的延迟装置，所述太赫兹时域光谱仪还包括飞秒激光器、太赫兹发射天线及太赫兹接收天线，所述飞秒激光器、所述太赫兹发射天线及所述太赫兹接收天线均与所述延迟装置电连接。