[实用新型]全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置有效

专利信息
申请号: 201721364347.X 申请日: 2017-10-23
公开(公告)号: CN207533613U 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 王强 申请(专利权)人: 王强
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B13/00;H01L31/18
代理公司: 北京恩赫律师事务所 11469 代理人: 赵文成
地址: 101101 北京市通州*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 自动槽盖 齿轮传动机构 连杆传动机构 转轴 开启关闭装置 本实用新型 气动机构 联动 半导体制造 全自动设备 太阳能电池 液晶制造 驱动 制造
【权利要求书】:

1.一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置,其特征在于,包括气动机构、齿轮传动机构和连杆传动机构,所述齿轮传动机构用于固定连接第一自动槽盖的第一转轴,与第一自动槽盖相对应的第二自动槽盖的第二转轴通过所述连杆传动机构与齿轮传动机构连接,所述齿轮传动机构通过气动机构驱动带动第一转轴和连杆传动机构使第一自动槽盖和第二自动槽盖同时开启和关闭。

2.根据权利要求1所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置,其特征在于,所述气动机构包括支座、与所述支座铰接连接的气缸以及与所述气缸的活塞杆的端部固定连接的气缸接头,所述气缸接头的端部转动连接有用于与所述齿轮传动机构固定连接的第一连杆。

3.根据权利要求2所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置,其特征在于,所述齿轮传动机构包括第一齿轮和与所述第一齿轮外啮合的第二齿轮,所述第一连杆和第一自动槽盖的第一转轴均与第一齿轮固定连接。

4.根据权利要求3所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置,其特征在于,所述连杆传动机构包括相互固定连接的第二连杆、中间连杆和第三连杆,所述第二连杆的末端转动连接有与所述第二齿轮固定连接的第四连杆,所述第三连杆的末端转动连接有与第二自动槽盖的第二转轴固定连接的第五连杆,所述连杆传动机构的中心线与所述第一自动槽盖的第一转轴和第二自动槽盖的第二转轴的轴线垂直。

5.根据权利要求2至4中任一所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置,其特征在于,所述气缸为配有磁环的双作用气缸,所述气缸的外部设置有磁性开关。

6.根据权利要求5所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置,其特征在于,所述第一自动槽盖的第一转轴的外表面和所述第二自动槽盖的第二转轴的外表面均做防腐处理或者所述第一转轴和第二转轴采用耐腐蚀材料制成。

7.根据权利要求6所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置,其特征在于,所述第一自动槽盖的第一转轴和第二自动槽盖的第二转轴采用不锈钢或PEEK材料制成。

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