[实用新型]一种玻璃基板承载平台

说明书

本实用新型涉及玻璃基板检测设备领域，公开了一种玻璃基板承载平台，该玻璃基板承载平台包括平台，平台用于承载玻璃基板，平台朝向玻璃基板的表面设有多个通气孔；平台内设有气道，气道与多个通气孔连通；气道用于向平台与玻璃基板之间输送空气，使玻璃基板在平台表面浮起，或用于将平台与玻璃基板之间的空气排出，使玻璃基板吸附在平台上。上述实施例中，当向气道内通入空气时，气流由通气孔中吹出，给玻璃基板一个向上的浮力，并在平台与玻璃基板之间形成缓冲作用；当将气道中的空气抽出时，由于玻璃基板上下表面存在压力差，从而使玻璃基板被牢牢地吸附在平台上。

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板检测设备领域，尤其涉及一种玻璃基板承台平台。

背景技术

玻璃基板在检测时，需要放置到玻璃基板承载平台上以供检测设备检测，检测过程中，通过旋转承载平台使玻璃基板到达指定的位置，从而沿横向及纵向两个方向对玻璃基板进行检测，在旋转过程中，一旦玻璃基板与承载平台发生相对位移，则容易造成玻璃基板表面的划伤，影响玻璃基板的使用；另外，玻璃基板在检测过程中，还需要通过顶升装置将玻璃基板举升到位，由于玻璃基板与承台平台之间的硬性接触，在上升过程中，玻璃基板由于震动等原因容易发生碎裂。

实用新型内容

本实用新型提供一种玻璃基板承载平台，用以提高玻璃基板的稳定性。

本实用新型实施例提供了一种玻璃基板承载平台，该玻璃基板承载平台包括平台，所述平台用于承载玻璃基板，所述平台朝向所述玻璃基板的一面设有多个通气孔；所述平台内设有气道，且所述气道与所述多个通气孔连通；

所述气道用于向所述平台与所述玻璃基板之间输送空气，使所述玻璃基板在所述平台表面浮起，或所述气道用于将所述平台与所述玻璃基板之间的空气排出，使所述玻璃基板被吸附在所述平台上。

上述实施例中，通气孔分布在平台朝向玻璃基板的表面，当向气道内通入空气时，气流被分配到各个通气孔中，给玻璃基板一个向上的浮力，使玻璃基板与平台之间形成微小的间隙，这样在顶升过程中，避免了两者之间的硬冲击，防止玻璃基板破碎；当将气道中的空气抽出时，由于玻璃基板上下表面存在压力差，从而将玻璃基板被牢牢地吸附在平台上，在平台旋转过程中，玻璃基板与平台之间不会发生相对位移，从而避免了玻璃基板表面的划伤。

在一个具体的实施例中，所述气道包括至少一个一级主气道，每个一级主气道与多个副气道连通，每个副气道与多个所述通气孔连通。

优选的，所述气道还包括至少一个二级主气道，每个二级主气道分别与一个一级主气道以及多个副气道连通，所述二级主气道用于将所述一级主气道中的气流分配到所述多个副气道，或用于将所述多个副气道中的气流汇集到所述一级主气道中。

优选的，所述平台背离所述玻璃基板的一面设有与所述每个一级主气道连通的进气孔。

具体设置时，所述气道包括四个一级主气道以及两个二级主气道，所述四个一级主气道呈十字形排列，且将所述平台分为四个区域。

优选的，所述两个二级主气道分别位于呈对角设置的两个区域内，且所述平台上的副气道平行设置。

优选的，当所述平台背离所述玻璃基板的一面设有一个进气孔时，所述进气孔位于所述平台的中心位置；

当所述平台背离所述玻璃基板的一面设有两个或多个进气孔时，所述两个或多个进气孔沿圆周分布，所述圆周位于所述平台的中心位置。

优选的，所述平台为铝合金材料制成而成的平台结构，且所述平台表面经过阳极氧化处理。

优选的，所述平台上设有与顶升机构配合的顶升避位孔、与夹持定位机构配合的夹持定位避位孔以及与检测探头配合的检测探头避位孔。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的玻璃基板承载平台的俯视图；