[实用新型]一种多个均匀温场的加热炉有效
| 申请号: | 201721350535.7 | 申请日: | 2017-10-19 |
| 公开(公告)号: | CN207422894U | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
| 发明(设计)人: | 白秋云 | 申请(专利权)人: | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 主分类号: | F27B17/02 | 分类号: | F27B17/02 |
| 代理公司: | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人: | 薛波 |
| 地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 烧结室 加热炉 电加热体 均匀温场 烧结炉 本实用新型 金属翅片 腔体 外壁 室内 第一腔室 内壁连接 热量传递 烧结 并联 体内 保证 | ||
1.一种多个均匀温场的加热炉,其特征在于,包括圆柱形烧结炉腔体(1)和第一腔室(3),所述第一腔室(3)内设置有多个球形烧结室(2),所述圆柱形烧结炉腔体(1)的内壁连接有用于固定球形烧结室(2)的支架(7),相邻两球形烧结室(2)之间设置有将第一腔室(3)分成多个第二腔室(31)的挡板(4),两个相邻的球形烧结室(2)通过气体管道(12)连通,其中一端的球形烧结室(2)连接有用于通入惰性气体或者反应气体的气体进口管道(9),另一端的球形烧结室(2)连接有用于排出气体的气体出口管道(10),每个所述球形烧结室(2)的腔室中心设置有用于放置烧结试样的烧结平台(5),所述圆柱形烧结炉腔体(1)内设置有并联的多个电加热体(8),每个所述电加热体(8)与球形烧结室(2)一一对应,每个所述第二腔室(31)内还设置用于把电加热体(8)发出的热量传递到球形烧结室(2)的外壁上的金属翅片(13),所述金属翅片(13)的两端分别与球形烧结室(2)的外壁和圆柱形烧结炉腔体(1)的内壁连接。
2.如权利要求1所述的多个均匀温场的加热炉,其特征在于,每个所述球形烧结室(2)的顶部设置有用于试样取出或者放入球形烧结室(2)的第一通孔,所述圆柱形烧结炉腔体(1)上设置有用于试样取出或者放入球形烧结室(2)的第二通孔,所述第一通孔处设置有与球形烧结室(2)铰接的用于盖住或者敞开第一通孔的第一盖板(21),所述第二通孔处设置有与圆柱形烧结炉腔体(1)铰接的用于盖住或者敞开第二通孔的第二盖板(11),所述第一盖板(21)的外侧面和第二盖板(11)的内侧面通过金属丝(22)连接。
3.如权利要求1所述的多个均匀温场的加热炉,其特征在于,所述球形烧结室(2)由外而内包括铜腔体和涂覆在铜腔体内壁上的银导热层。
4.如权利要求1所述的多个均匀温场的加热炉,其特征在于,所述球形烧结室(2)的底部设置用于排出烧结过程产生的灰尘的粉末排出管道(23)。
5.如权利要求1所述的多个均匀温场的加热炉,其特征在于,每个所述球形烧结室(2)的烧结平台(5)上还设置有压力传感器和温度传感器。
6.如权利要求1所述的多个均匀温场的加热炉,其特征在于,所述烧结平台(5)的材质为金属铜,所述烧结平台(5)通过多个金属固定架(6)与球形烧结室(2)的内壁连接。
7.如权利要求6所述的多个均匀温场的加热炉,其特征在于,所述烧结平台(5)上设置有矩形凹槽(14)。
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